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混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜制备及实用

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铟膜及铟柱制备是研制红外焦平面探测器列阵的关键技术之一，本文着重介绍了“128×128”混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜的制备和选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)及研制结果.展示了UFPA的应用前景.

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来源
《第八届真空技术应用学术年会》|2005年|6-11|共6页
会议地点厦门
作者
黄江平; 杨春丽; 黎力; 袁斌;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
焦平面; 非制冷探测器; 铟膜; 铟柱;

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