机译:通过纳米球体光刻和金属辅助化学刻蚀控制有序硅纳米线阵列的形貌
Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan, Gyeonggi 426-791, Korea;
Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan, Gyeonggi 426-791, Korea;
Electrochemistry Department, Korea Institute of Materials Science, Changwon, Gyeongnam 641-831, Korea;
Department of Chemical and Environmental Engineering, University of California-Riverside, Riverside, CA 92521, U.S.A.;
Department of Fusion Chemical Engineering, Hanyang University, Ansan, Gyeonggi 426-791, Korea;
机译:基于纳米光刻的金属辅助化学蚀刻和热氧化稀释Si纳米线阵列的合成与形貌控制
机译:通过可控的金属辅助化学刻蚀制备具有超高纵横比的双面晶圆级硅纳米线阵列
机译:使用嵌段共聚物光刻技术和金属辅助刻蚀技术制造的超高纵横比硅纳米线的密集排列阵列
机译:硅纳米线阵列结合纳米光刻和金属辅助蚀刻
机译:使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。
机译:金属辅助化学蚀刻的无光刻技术制造硅纳米线和纳米孔阵列
机译:金属辅助化学蚀刻的无光刻技术制造硅纳米线和纳米孔阵列