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【24h】

Fabrication of two-dimensional nanostructure array using nanosphere lithography and RIE etching and its application in optical devices.

机译：使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。

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作者
Wang, Jinsong.;
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作者单位

Wayne State University.;

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授予单位 Wayne State University.;
学科 Electrical engineering.;Materials science.
学位 Ph.D.
年度 2007
页码 105 p.
总页数 105
原文格式 PDF
正文语种 eng
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