波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製

摘要

This paper describes the fabrication of a MEMS mirror array with low electrical interference in a wavelength-selective switch (WSS). A MEMS mirror array chip is fabricated with 100% yield by encapsulating the mirrors with an organic film that protect them from process damage. A mirror-drive electrode chip has high-aspect-ratio electrical isolation walls in the narrow space between adjacent mirror-drive electrodes by using thick-multilevel interconnection technology. Shield caps are made by anisotropic etching of Si (111). Because of the electrical isolation effect of the walls and caps, each MEMS mirror operates with low electrical interference.%本稿は波長選択スイッチ（WSS）における電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製に関する報告である.ミラーチップに関しては，ミラーを有機樹脂膜で被覆することによって，100％歩留まりで作製することを実現している.電極チップに関しては，厚膜多層配線技術を用いることによって，狭小空間に高アスペクト比の電気干渉壁を形成している.また，シールドキャップに関しては，Si（111）面の異方性エッチングによりSiのⅤ溝を形成している.電極チップの電気干渉壁とシールドキャップの電界分離効果によって，各ミラーは電気干渉を受けることなく動作することを確認している.