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郑奋;
苏州大学;
干扰抑制; 温度补偿; MEMS陀螺; 性能;
机译:基于金属粘合的密封晶片级MEMS包装技术,采用平面内馈通:厚金膜馈通的密闭性和高频特性
机译:使用具有垂直馈通的SOI盖晶片的MEMS晶片级气密封装的先进MEMS工艺
机译:一种使用先进的MEMS工艺对具有嵌入式垂直馈通的SOI-MEMS器件进行晶圆级气密封装的方法
机译:可重构IC + FPGA平台中MEMS陀螺仪中的自适应馈通消除
机译:一种基于直接参数测量的,用于提高量产MEMS陀螺仪性能的温度补偿程序。
机译:基于WLMP和CS-SVR的双质量MEMS陀螺仪并行降噪与温度补偿处理
机译:基于MEMS的固体推进剂火箭阵列推进器,具有电馈通。
机译:具有直接馈通矩阵的系统的干扰解耦问题与测量反馈和稳定性
机译:在基体中产生电馈通的方法以及具有电馈通的基体
机译:用于制造电馈通的方法以及根据该方法制造的电馈通
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