通信用MEMSミラーデバイスに求められる加工制御性－波長選択スイッチ用MEMSミラーアレイモジュールの電気干渉低減

机译：MEMS MEMS镜像设备用于通信-MEMS镜阵模块MEMS镜阵模块的电气干扰减小，用于波长选择开关

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櫛歯壁を有するミラーアレイを作製した．櫛歯壁を設けることにより，隣接チャネル間電気干渉が低減することを確認した．このことから，ミラー上部に設けた櫛歯壁というコンセプトが電気干渉低減に極めて有効であることを示した．

机译：产生具有梳子墙的镜子阵列。通过提供梳墙，确认相邻通道之间的电干扰减小。由此，它表明，在镜子顶部提供的梳齿壁的概念在降低电干扰方面非常有效。

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来源
《精密工学会学術講演会》|2012年||共2页
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作者
阪田知巳; 碓氷光男; 内山真吾; 山口城治; 小舘淳一; 神好人;
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中图分类 TG5-53;
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