波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製

摘要

本稿は波長選択スイッチ（WSS）における電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製に関する報告である．ミラーチップに関しては，ミラーを有機樹脂膜で被覆することによって，100％歩留まりで作製することを実現している．電極チップに関しては，厚膜多層配線技術を用いることによって，狭小空間に高アスペクト比の電気干渉壁を形成している．また，シールドキャップに関しては，Si（111）面の異方性エッチングによりSiのV溝を形成している．電極チップの電気干渉壁とシールドキャップの電界分離効果によって，各ミラーは電気干渉を受けることなく動作することを確認している．