机译:通过离子注入硅的低温微波退火有效激活掺杂剂
School of Matter, Transport, and Energy, Arizona State University, Tempe, Arizona 85287, USA|c|;
机译:通过离子注入硅的低温微波退火有效激活掺杂剂
机译:通过基座辅助微波退火对低能硼注入和磷注入硅进行有效的掺杂活化
机译:通过基座辅助微波退火对低能硼注入和磷注入硅进行有效的掺杂活化
机译:离子注入硅中的可变频率微波诱导的低温掺杂剂活化
机译:外延氮化镓中的离子植入损伤,退火和掺杂剂活化
机译:通过低温微波退火通过掺杂剂隔离技术调整肖特基势垒高度
机译:350°C微波退火的超浅结合N-MOS的研究锗磷掺杂剂活化