新型半填充微气相色谱柱芯片研究

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列.与现有半填充 μGCC相比,新型 μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用.设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物,理论塔板数最高可达到9246 plates/m.