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外文会议
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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
召开年:
2017
召开地:
Las Vegas(CN)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Electrostatic/triboelectric hybrid power generator using folded electrets
机译:
使用折叠式驻极体的静电/摩擦电混合动力发电机
作者:
K. Tao
;
J. Wu
;
A.G.P. Kottapalli
;
L.H. Tang
;
L.X. Hu
;
N. Wang
;
S.W. Lye
;
M.S. Triantafyllou
;
J.M. Miao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Generators;
Electrets;
Electrodes;
Hybrid power systems;
Electrostatics;
Energy harvesting;
Electrostatic induction;
2.
Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
机译:
液体纳米填充间隙的静电弯曲执行器
作者:
M. Gaudet
;
S. Uhlig
;
M. Stolz
;
S. Arscott
;
H. Conrad
;
S. Langa
;
B. Kaiser
;
H. Schenk
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Oils;
Liquids;
Electrodes;
Electrostatics;
Actuators;
Permittivity measurement;
Dielectric liquids;
3.
MOF (metal-organic framework) nanomaterial for 400ppb-concentration detectable xylene gas sensors
机译:
用于400ppb浓度可检测二甲苯气体传感器的MOF(金属有机框架)纳米材料
作者:
Pengcheng Xu
;
Tao Xu
;
Haitao Yu
;
Dan Zheng
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Crystals;
Gas detectors;
Chemicals;
Temperature sensors;
Gases;
Chemical sensors;
4.
Thermal based flow sensor with nearly zero temperature dependence and MID-based flow channel
机译:
基于热的流量传感器,具有几乎零温度依赖性和基于MID的流道
作者:
Florian T. Krogmann
;
Christoph J. Hepp
;
Mirko Lehmann
;
Jiri Holoubek
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Temperature sensors;
Temperature measurement;
Heating;
Resistance;
Fluids;
Bridge circuits;
5.
A thermoresponsive electromechanical microchip for temperature control in biomedical smart implants
机译:
用于生物医学智能植入物温度控制的热响应机电微芯片
作者:
Anindya L. Roy
;
Kenichi Takahata
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Temperature measurement;
Implants;
Electrodes;
Circuit breakers;
Contacts;
Heating;
Temperature sensors;
6.
Wafer-scale high-resolution patterning of biostructures using silk light chain protein photolithography
机译:
使用丝绸轻链蛋白光刻技术对生物结构进行晶圆级高分辨率图案化。
作者:
Wanpeng Liu
;
Shaoqing Zhang
;
Woonsoo Lee
;
Tiger H. Tao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Proteins;
Resists;
Lithography;
Etching;
Solvents;
Microstructure;
7.
The ‘how why’ a deceptively simple acoustic resonator became the basis of a multi-billion dollar industry
机译:
看似简单的声波谐振器的“如何和为什么”成为数十亿美元产业的基础
作者:
Rich Ruby
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonator filters;
Electrodes;
Couplings;
Impedance;
Capacitance;
Film bulk acoustic resonators;
8.
Jumping force of coalescing droplets on a superhydrophobic surface
机译:
聚结液滴在超疏水表面上的跳跃力
作者:
T-V. Nguyen
;
T. Mouterde
;
H. Takahashi
;
D. Quéré
;
I. Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Force;
Force measurement;
Piezoresistance;
Fabrication;
Surface treatment;
Frequency measurement;
Cameras;
9.
An electrostatic MEMS scanner with in-plane and out-of-plane two-dimensional scanning capability for confocal endoscopic in vivo imaging
机译:
具有平面内和平面外二维扫描功能的静电MEMS扫描仪,用于共聚焦内窥镜体内成像
作者:
Haijun Li
;
Xiyu Duan
;
Thomas D. Wang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Micromechanical devices;
Two dimensional displays;
Mirrors;
Imaging;
Optical device fabrication;
Springs;
Fluorescence;
10.
Compact OCT endomicroscopic catheter using flip-chip bonded Lissajous scanned electrothermal MEMS fiber scanner
机译:
紧凑的OCT内窥镜导管,使用倒装芯片粘结的李沙育扫描电热MEMS纤维扫描仪
作者:
Yeong-Hyeon Seo
;
Kyungmin Hwang
;
Ki-Hun Jeong
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Micromechanical devices;
Optical fibers;
Catheters;
Flip-chip devices;
Optical fiber devices;
Microactuators;
Optical imaging;
11.
Horizontally aligned carbon nanotube scaffolds for freestanding structures with enhanced conductivity
机译:
水平排列的碳纳米管支架,用于具有增强导电性的独立式结构
作者:
Cinzia Silvestri
;
Federico Marciano
;
Bruno Morana
;
Violeta Podranovic
;
Sten Vollebregt
;
Guo Qi Zhang
;
Pasqualina M. Sarro
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Coatings;
Carbon nanotubes;
Aluminum oxide;
Conductivity;
Optical sensors;
Morphology;
Fabrication;
12.
Artificial insect wings with biomimetic morphology and stiffness
机译:
具有仿生形态和刚度的人造昆虫翅膀
作者:
Zhiwei Liu
;
Xiaojun Yan
;
Mingjing Qi
;
Yangsheng Zhu
;
Xiaoyong Zhang
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Insects;
Carbon;
Fabrication;
Morphology;
Laser beam cutting;
Aerodynamics;
Nonhomogeneous media;
13.
Gene transfer by circulating plasma bubble flow
机译:
通过循环血浆气泡流进行基因转移
作者:
Yoko Yamanishi
;
Ryotaro Tanaka
;
Yuta Arakawa
;
Yoshimichi Nakatsu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Plasmas;
Rotors;
Electrodes;
Electron tubes;
Microfluidics;
Suspensions;
Throughput;
14.
Versatile 3-D stacking of 2-D paper-based biobatteries
机译:
二维纸质生物电池的多功能3D堆叠
作者:
Y. Gao
;
S. Choi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Batteries;
Cathodes;
Anodes;
Reservoirs;
Stacking;
Fabrication;
Fuel cells;
15.
High aspect ratio silicon field emitter arrays (FEAS) as miniaturized stable electron source for catheter-based radiotherapy
机译:
高纵横比硅场发射器阵列(FEAS)作为基于导管的放射治疗的小型稳定电子源
作者:
Xiaojing Wang
;
Göran Stemme
;
Nielas Roxhed
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Silicon;
Electric fields;
X-rays;
Electron sources;
Field emitter arrays;
Acceleration;
Chip scale packaging;
16.
First dual-color optrode with bare laser diode chips directly butt-coupled to hybrid-polymer waveguides
机译:
第一个双色光电极,带有裸激光二极管芯片,直接对接耦合到混合聚合物波导
作者:
Michael Schwaerzle
;
Patrick Ringwald
;
Oliver Paul
;
Patrick Rüther
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Probes;
Electrodes;
Shafts;
Temperature sensors;
Metallization;
Substrates;
Sea measurements;
17.
A 25 MG magnetically actuated microrobot walking at > 5 body lengths/sec
机译:
25 MG磁控微型机器人以> 5体长/秒的速度行走
作者:
Dana Vogtmann
;
Ryan St. Pierre
;
Sarah Bergbreiter
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Legged locomotion;
Magnetic moments;
Magnetic separation;
Actuators;
Magnetic field measurement;
18.
Fabrication of nanomechanical resonator with non-local spin valve structure for spin detection and control
机译:
用于自旋检测和控制的具有非局部自旋阀结构的纳米机械谐振器的制造
作者:
Yong-Jun Seo
;
Kazuya Harii
;
Ryo Takahashi
;
Hiroyuki Chudo
;
Koichi Oyanagi
;
Takahito Ono
;
Yuki Shiomi
;
Eiji Saitoh
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonant frequency;
Force;
Torque;
Spin valves;
Sensitivity;
Vibrations;
Silicon;
19.
Thermoelastic quality-factor enhanced disk resonator gyroscope
机译:
热弹性品质因数增强圆盘谐振陀螺仪
作者:
Xin Zhou
;
Dingbang Xiao
;
Zhanqiang Hou
;
Qingsong Li
;
Yulie Wu
;
Dechuan Yu
;
Wei Li
;
Xuezhong Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonant frequency;
Gyroscopes;
Damping;
Geometry;
Bonding;
Electrodes;
20.
Fabrication of a MEMS based symmetrically deformarle convex mirror
机译:
基于MEMS的对称变形凸镜的制造
作者:
Md. Mahabub Hossain
;
Jun Yeop Lee
;
Seong Ho Kong
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Laser beams;
Micromirrors;
Micromechanical devices;
Fabrication;
Solenoids;
Shape;
21.
Ultra-low-voltage gyroscopes based on piezoresistive NEMS for drive-motion and coriolis-motion sensing
机译:
基于压阻NEMS的超低压陀螺仪,用于驱动运动和科里奥利运动感测
作者:
Stefano Dellea
;
Giorgio S. Strazzeri
;
Patrice Rey
;
Giacomo Langfelder
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Gyroscopes;
Nanoelectromechanical systems;
Piezoresistance;
Micromechanical devices;
Sensors;
Circuit stability;
Springs;
22.
A 0.5 mm2 7-mhz capacitive bulk acoustic wave gyroscope in (100) silicon with large dynamic range
机译:
在(100)硅中具有动态范围大的0.5 mm2 7 MHz电容体声波陀螺仪
作者:
Amir Rahafrooz
;
Diego E. Serrano
;
Duane Younkin
;
Shin Nagpal
;
Ijaz Jafri
;
Farrokh Ayazi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Gyroscopes;
Electrodes;
Micromechanical devices;
Resonant frequency;
Silicon;
Q-factor;
Vibrations;
23.
Rapid antibiotic susceptibility test: Commercialization of life saving MEMS devices
机译:
快速抗生素敏感性测试:救生MEMS设备的商业化
作者:
Hyun Yong Jeong
;
Eun-Geun Kim
;
Sangkwon Han
;
Gi Yoon Lee
;
Shinhoon Han
;
Bonghwan Jin
;
Taegeun Lim
;
Hee Chan Kim
;
Taek Soo Kim
;
Dongyoung Kim
;
Sunghoon Kwon
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Antibiotics;
Microorganisms;
Microfluidics;
Immune system;
Microscopy;
24.
Red blood cell deformability upon continuous or repetitive loadings
机译:
连续或重复加载时红细胞变形能力
作者:
Hiroaki Ito
;
Ryo Murakami
;
Chia-Hung Dylan Tsai
;
Mitsuhiro Horade
;
Motomu Tanaka
;
Makoto Kaneko
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Loading;
Shape;
Microfluidics;
Microchannels;
Stress;
Red blood cells;
Springs;
25.
Resonant piezoresistive amplifiers: Towards single element nano-mechanical RF front ends
机译:
谐振压阻放大器:朝单元素纳米机械RF前端发展
作者:
Alireza Ramezany
;
Sachin Babu
;
Varun Kumar
;
Jeong-Bong Lee
;
Siavash Pourkamali
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonant frequency;
Piezoresistance;
Radio frequency;
Frequency measurement;
Electrical resistance measurement;
Performance evaluation;
26.
Power-insensitive silicon crystal-cut for amplitude-stable frequency synthesis
机译:
功率不敏感的硅晶体切割,用于幅度稳定的频率合成
作者:
Mayur Ghatge
;
Pratyusha Karri
;
Roozbeh Tabrizian
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Crystals;
Silicon;
Dispersion;
Resonant frequency;
Micromechanical devices;
Harmonic analysis;
Nonlinear distortion;
27.
A facile dry-PMMA transfer process for electron-beam lithography on non-flat substrates
机译:
在非平面基板上进行电子束光刻的简便干法PMMA转移工艺
作者:
Jong-Hyun Kim
;
Qin Zhou
;
Jiyoung Chang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Films;
Substrates;
Surface treatment;
Needles;
Lithography;
Electron beams;
Resists;
28.
Nanoelectrokinetic radial preconcentrator/extractor based on ion concentration polarization
机译:
基于离子浓度极化的纳米电动径向预浓缩器/提取器
作者:
Sangjun Lee
;
Sungmin Park
;
Noo Li Jeon
;
Sung Jae Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microchannels;
Fluorescence;
Iterative closest point algorithm;
Plugs;
Ions;
Glass;
Solvents;
29.
Packaging technique for a tunable miniature liquid iris operated by electrowetting actuation
机译:
电润湿致动可调谐微型液体虹膜的包装技术
作者:
Jeong Byung Chae
;
Seungeun Park
;
Jong-hyeon Chang
;
Jinseung Yang
;
Sang Kug Chung
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Iris;
Liquids;
Packaging;
Sealing materials;
Chemicals;
Optical imaging;
Optical filters;
30.
A smart microfluidic system integrated with pressure sensors and flow sensor based on electrochemical impedance methods
机译:
基于电化学阻抗方法的压力传感器和流量传感器集成的智能微流系统
作者:
Longjun Tang
;
Jingquan Liu
;
Wen Hong
;
Tao Wang
;
Xiaolin Wang
;
Xiang Chen
;
Bin Yang
;
Chunsheng Yang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microfluidics;
Impedance;
Substrates;
Monitoring;
Pressure sensors;
Pressure measurement;
31.
A high performance and ultra wide tuned capacitor using netted membrane structure for reconfigurable RF systems
机译:
使用网状膜结构的高性能超宽调谐电容器,用于可重构RF系统
作者:
JaeWoo Kim
;
HyunOk Cho
;
JaeYeong Park
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Capacitors;
Micromechanical devices;
Radio frequency;
Capacitance;
Tuning;
Capacitance-voltage characteristics;
Electrodes;
32.
Mechanical characterization of cyanobacteria under osmotic stress
机译:
渗透胁迫下蓝细菌的力学表征
作者:
S. Sahuma
;
D. Chang
;
F. Arai
;
K. Kera
;
N. Uozumi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Semiconductor device measurement;
Microfluidics;
Force measurement;
Probes;
Stress;
Force sensors;
33.
Fabrication of nanoscale structures with nanometer resolution and surface uniformity
机译:
具有纳米分辨率和表面均匀性的纳米级结构的制备
作者:
Farnaz Niroui
;
Mayuran Saravanapavanantham
;
Timothy M. Swager
;
Jeffrey H. Lang
;
Vladimir Bulović
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Gold;
Substrates;
Surface treatment;
Rough surfaces;
Surface roughness;
Nanoscale devices;
Lithography;
34.
Cardiac toxicity screening using polymeric cantilever integrated with cell stimulators
机译:
使用聚合物悬臂与细胞刺激剂结合进行心脏毒性筛查
作者:
N.E. Oyunbaatar
;
D.S. Kim
;
E.S. Kim
;
B.K. Lee
;
D.W. Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Electrical stimulation;
Drugs;
Polymers;
Electrodes;
Force;
Displacement measurement;
Heart;
35.
A multi-axis piezoresistive MEMS sensor for acoustic emission
机译:
用于声发射的多轴压阻MEMS传感器
作者:
Nobuhiko Matsuda
;
Nguyen Minh Dung
;
Tomoyuki Takahata
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Acoustic beams;
Piezoresistance;
Frequency measurement;
Micromechanical devices;
Acoustic emission;
Acoustic measurements;
Semiconductor device measurement;
36.
A novel biomems device for efficient on-chip single cell loading and 3D rotation
机译:
一种新颖的生物内存设备,可高效地进行芯片上单细胞加载和3D旋转
作者:
Liang Huang
;
Peng Zhao
;
Shengtai Bian
;
Guanya Shi
;
Peng Liu
;
Song Zong
;
Wenhui Wang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Electrodes;
Force;
Three-dimensional displays;
Electric fields;
Fabrication;
Loading;
Microfluidics;
37.
Parallel microarraying of microfluidic droplets for high-throughput integration with matrix-assisted laser desorption ionization mass spectrometry
机译:
平行微阵列微滴微阵列技术与基质辅助激光解吸电离质谱法进行高通量整合
作者:
Todd A. Duncombe
;
Paul Adams
;
Anup Singh
;
Trent Northen
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microfluidics;
Mass spectroscopy;
Silicon;
Ionization;
Oils;
Plasma temperature;
38.
3-D printed miniaturized diaphragm vacuum pump
机译:
3-D打印小型隔膜真空泵
作者:
Anthony P. Taylor
;
Luis F. Velásquez-García
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Valves;
Pistons;
Stress;
Printing;
Microfluidics;
Micromechanical devices;
Vacuum technology;
39.
Development of piezoelectric nanostructures for cell stimulation
机译:
用于细胞刺激的压电纳米结构的发展
作者:
Gonzalo Murillo
;
Andreu Blanquer
;
Carolina Vargas
;
Lleonard Barrios
;
Elena Ibáñez
;
Carme Nogués
;
Jaume Esteve
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Nanostructures;
Calcium;
Electrical stimulation;
Zinc oxide;
II-VI semiconductor materials;
Aluminum nitride;
III-V semiconductor materials;
40.
Electric stress produces bilayer lipid membranes by exclusion of excessive oil layer
机译:
电应力通过排除过多的油层而产生双层脂质膜
作者:
Y. Matsunaga
;
T. Osaki
;
N. Misawa
;
S. Fujii
;
K. Kamiya
;
N. Miki
;
S. Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Oils;
Lipidomics;
Stress;
Protocols;
Monitoring;
Optical buffering;
Proteins;
41.
A silicon carbide differential output pressure sensor by concentrically matched capacitance
机译:
同心匹配电容的碳化硅差动输出压力传感器
作者:
Levent Beker
;
Ayden Maralani
;
Liwei Lin
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Temperature sensors;
Capacitance;
Pressure sensors;
Temperature measurement;
Capacitive sensors;
Sensor phenomena and characterization;
42.
DRIE trenches and full-bridges design for sensitivity improvement of MEMS silicon thermal wind sensor
机译:
DRIE沟槽和全桥设计可提高MEMS硅热风传感器的灵敏度
作者:
Yizhou Ye
;
Zhenxiang Yi
;
Ming Qin
;
Qing-an Huang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Silicon;
Thermal sensors;
Heating;
Thermistors;
Sensitivity;
Wind speed;
43.
Direct PCR amplification and in situ imaging based on alginate droplets
机译:
基于藻酸盐液滴的直接PCR扩增和原位成像
作者:
Lijun Li
;
Linfen Yu
;
Tianzhun Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microfluidics;
Fluorescence;
DNA;
Imaging;
Hydrodynamics;
Oils;
System-on-chip;
44.
Wide bandgap β-Ga2O3 nanomechanical resonators for detection of middle-ultraviolet (MUV) photon radiation
机译:
用于检测中紫外(MUV)光子辐射的宽带隙β-Ga2O3纳米机械谐振器
作者:
Xu-Qian Zheng
;
Jaesung Lee
;
Subrina Rafique
;
Lu Han
;
Christian A. Zorman
;
Hongping Zhao
;
Philip X.-L. Feng
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Optical resonators;
Resonant frequency;
Nanoscale devices;
Frequency measurement;
Photonic band gap;
Optical sensors;
45.
300 μm Deep through silicon via in laser-ablated CMOS multi-project wafer for cost-effective development of integrated MEMS
机译:
激光烧蚀的CMOS多项目晶圆中的300μm直通硅通孔,可经济高效地开发集成MEMS
作者:
Yukio Suzuki
;
Hideyuki Fukushi
;
Masanori Muroyama
;
Yoshiyuki Hata
;
Takahiro Nakayama
;
Rakesh Chand
;
Hideki Hirano
;
Yutaka Nonomura
;
Hirofumi Funabashi
;
Shuji Tanaka
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Through-silicon vias;
Large scale integration;
Micromechanical devices;
Bonding;
Stress;
Surface treatment;
Gold;
46.
A low temperature inkjet printing and filling process for low resistive silver TSV fabrication in a SU-8 substrate
机译:
用于在SU-8基板中制造低电阻银TSV的低温喷墨印刷和填充工艺
作者:
Tsung-Han Yang
;
Zi-Li Guo
;
Yu-Min Fu
;
Yu-Ting Cheng
;
Yen-Fang Song
;
Pu-Wei Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Through-silicon vias;
Filling;
Substrates;
Printing;
Mirrors;
Resistance;
Ink;
47.
Flexible multi-modal micro-biosensor towards accurate cancer tissue targeting during biopsy process
机译:
灵活的多模式微生物传感器,可在活检过程中准确定位癌组织
作者:
Jaeho Park
;
Yongrok Jeong
;
Inkyu Park
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Biopsy;
Needles;
Sugar;
Electrodes;
Iridium;
Impedance;
Electric variables measurement;
48.
Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded ellipitic cylindrical posts
机译:
嵌入式椭圆柱形微型气相色谱柱的研究
作者:
Bowen Tian
;
Fei Feng
;
Lei Hou
;
Fan Luo
;
Xinxin Li
;
Xiaohong Ge
;
Yanhong Wu
会议名称:
《》
|
2017年
关键词:
Methane;
Gas chromatography;
Fabrication;
Coatings;
Films;
Surface treatment;
Micromechanical devices;
49.
Maskless manufacturing of through glass vias (TGVS) and their test structures
机译:
穿通玻璃通孔(TGVS)及其测试结构的无掩模制造
作者:
Miku J. Laakso
;
Jessica Liljeholm
;
Andreas C. Fischer
;
Göran Stemme
;
Thorbjörn Ebefors
;
Frank Niklaus
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Glass;
Nickel;
Silicon;
Surface treatment;
Fabrication;
Lasers;
50.
A piezoelectric beam actuator with a pure twisting response
机译:
具有纯扭转响应的压电梁致动器
作者:
Inbar Hotzen Grinberg
;
Nadav Maccabi
;
Adne Kassie
;
David Elata
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Actuators;
Laser beams;
Electrodes;
Strain;
Voltage measurement;
Resonant frequency;
Frequency measurement;
51.
Inductance enhancement of a MEMS inductor with self-aligned magnetic nanoparticles
机译:
具有自对准磁性纳米粒子的MEMS电感器的电感增强
作者:
Jae-Shin Lee
;
Seung-Deok Ko
;
Chang-Hoon Han
;
Yong-Hoon Yoon
;
Min-Ho Seo
;
Jun-Bo Yoon
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Inductors;
Inductance;
Micromechanical devices;
Magnetic fields;
Microfluidics;
Permeability;
Magnetic forces;
52.
Micromirror based optical phased array for wide-angle beamsteering
机译:
基于微镜的光学相控阵用于广角光束转向
作者:
Youmin Wang
;
Ming C. Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Micromirrors;
Micromechanical devices;
Springs;
Optical fibers;
Fingers;
Phased arrays;
53.
Fabrication of flexible polymer bio-MEMS with submicron features
机译:
具有亚微米特征的柔性聚合物生物微机电系统的制造
作者:
Kee Scholien
;
Ellis Meng
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Polymers;
Electrodes;
Substrates;
Probes;
Silicon;
Fabrication;
Micromechanical devices;
54.
From 2D fluidic array screening to 3D bacterial capturing structures in a point of care system for sepsis diagnosis
机译:
从2D流体阵列筛查到3D细菌捕获结构(即时诊断系统),用于败血症诊断
作者:
Mohammad-Ali Shahbazi
;
Krishna Kant
;
Joseph John Kaplinsky
;
Vinayaka Aaydha Chidambara
;
Dang Duong Bang
;
Anders Wolff
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microorganisms;
Surface treatment;
Three-dimensional displays;
Surface morphology;
Substrates;
Two dimensional displays;
Peptides;
55.
Highly efficient formation of droplet interface bilayers by using a microperforated separator
机译:
使用微孔隔板高效形成液滴界面双层
作者:
Nobuo Misawa
;
Satoshi Fujii
;
Koki Kamiya
;
Toshihisa Osaki
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Particle separators;
Lipidomics;
Oils;
Proteins;
Surface treatment;
Biomembranes;
Chemicals;
56.
Fabrication of a transparent structured superomniphobic surface using a multiple partial expose method
机译:
使用多重部分暴露方法制备透明的结构化超憎水表面
作者:
Meng-Shiue Lee
;
Po-Han Wu
;
Wensyang Hsu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Liquids;
Topology;
Resists;
Surface treatment;
Substrates;
Glass;
Films;
57.
NANORIM: Sub-micron structuring with reaction injection molding
机译:
NANORIM:具有反应注射成型的亚微米结构
作者:
Reza Zandi Shafagh
;
Wouter van der Wijngaart
;
Tommy Haraldsson
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Polymers;
Fabrication;
Injection molding;
Filling;
Cavity resonators;
Nanoscale devices;
58.
Powering portable electronics using vocal fold vibrations
机译:
利用声带振动为便携式电子设备供电
作者:
Hyunjun Cho
;
Kyoohyun Noh
;
Tomohiro Ishikawa
;
Deajong Yang
;
Edgar Sánchez-Sinencio
;
Hyuck Choo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Vibrations;
Batteries;
Resonant frequency;
Energy harvesting;
Voltage measurement;
Packaging;
Wearable computers;
59.
Reversible low voltage electrowetting with SiO2 capillary window for optical imaging
机译:
SiO2毛细管窗口可逆低压电润湿,用于光学成像
作者:
Nguyen Van Toan
;
Suguru Sangu
;
Yoshisuke Ansai
;
Takahito Ono
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Liquids;
Optical imaging;
Optical device fabrication;
Oscillators;
Optical films;
Optical reflection;
60.
Surface micro-structured, stretchable strain sensor towards biaxial sensitivity and performance enhancement
机译:
表面微结构的可拉伸应变传感器,可实现双轴灵敏度和性能增强
作者:
Min Seong Kim
;
Donguk Kwon
;
Seunghwan Kim
;
Kyuyoung Kim
;
Inkyu Park
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Strain;
Resistance;
Sensitivity;
Stress;
Robot sensing systems;
Capacitive sensors;
Films;
61.
Nanoblade array for spatial dissection of single cells and tissues
机译:
纳米刀片阵列用于单个细胞和组织的空间解剖
作者:
D. Kagawa
;
M. Kusumoto
;
Y. Takemura
;
H. Takao
;
F. Shimokawa
;
K. Terao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Blades;
Proteins;
Nanoscale devices;
Substrates;
Molecular biophysics;
Fluorescence;
Silicon;
62.
On-chip internalization process of an intracellular nanobot into a single cell
机译:
细胞内纳米机器人进入单细胞的芯片内化过程
作者:
K. Ogawa
;
K. Uesugi
;
K. Morishima
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Nanobioscience;
Nanoscale devices;
Microfluidics;
Magnetic fields;
System-on-chip;
Nickel;
Microscopy;
63.
Vertical integration of capacitive and piezo-resistive sensing units to enlarge the sensing range of CMOS-MEMS tactile sensor
机译:
垂直集成电容和压阻式感应单元,以扩大CMOS-MEMS触觉传感器的感应范围
作者:
Shao-Yu Tu
;
Wei-Cheng Lai
;
Weileun Fang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Tactile sensors;
Temperature measurement;
Sensitivity;
Capacitance;
Force;
64.
Highly reproducible and scalable transparent PDMS thin film with super-hydrypobic surface
机译:
具有超疏水表面的高度可复制且可扩展的透明PDMS薄膜
作者:
J.H. Park
;
D.W. Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Optical films;
Optical imaging;
Optical device fabrication;
Optical surface waves;
Optical polymers;
65.
Fabrication of biocompatible fluorescent hydrogel for implantable continuous glucose monitoring device
机译:
用于植入式连续葡萄糖监测装置的生物相容性荧光水凝胶的制备
作者:
Jun Sawayama
;
Eunryel Nam
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Sugar;
Fluorescence;
Monitoring;
In vivo;
Wireless sensor networks;
Wireless communication;
Rats;
66.
Controlled energy release based on explosive porous silicon
机译:
基于爆炸性多孔硅的受控能量释放
作者:
Shervin Keshavarzi
;
Wolfgang Kronast
;
Frederico Lima
;
Ulrich Mescheder
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Explosives;
Heat transfer;
Ignition;
Temperature measurement;
Porous silicon;
67.
An innovative piezo-MEMS channel-select filter design based on non-monotonic coupled modes
机译:
基于非单调耦合模式的创新型压电MEMS通道选择滤波器设计
作者:
Chao-Yu Chen
;
Ming-Huang Li
;
Gayathri Pillai
;
Julius Ming-Lin Tsai
;
Sheng-Shian Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonator filters;
Optical filters;
Band-pass filters;
Couplers;
Bandwidth;
IP networks;
Passband;
68.
Effects of heterostructure stacking on acoustic dissipation in coupled-ring resonators
机译:
异质结构堆叠对耦合环谐振器声耗的影响
作者:
Adam Peczalski
;
Xu-Qian Zheng
;
Jaesung Lee
;
Philip X.-L. Feng
;
Mina Rais-Zadeh
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Optical resonators;
Silicon;
Optical variables measurement;
Loss measurement;
Aluminum nitride;
III-V semiconductor materials;
Electric variables measurement;
69.
On-site manipulation of single DNA molecules using optically-driven microchopsticks
机译:
使用光学驱动的微筷子现场操作单个DNA分子
作者:
Ryo Inukai
;
Hidekuni Takao
;
Fusao Shimokawa
;
Kyohei Terao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
DNA;
Microstructure;
Laser beams;
Optical imaging;
Biomedical optical imaging;
Optical fibers;
70.
Microfluidic enabled rapid bioprinting of hydrogel μfiber based porous constructs
机译:
微流控技术使基于水凝胶微纤维的多孔结构能够快速生物印刷
作者:
Minghao Nie
;
Pritesh Mistry
;
Jing Yang
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Printing;
Microfluidics;
Substrates;
Three-dimensional displays;
Biomembranes;
Calcium;
Fluids;
71.
The study of self-limited state profile and level set simulation of anisotropic wet etching on quartz
机译:
石英各向异性湿法刻蚀的自极限状态曲线和能级集模拟的研究
作者:
Yan Xing
;
Hui Zhang
;
Peng. P Cai
;
Yuan Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Crystals;
Level set;
Mathematical model;
Wet etching;
Needles;
72.
Multi-function and cascadable MEMS logic device
机译:
多功能可级联的MEMS逻辑器件
作者:
Saad Ilyas
;
Nizar Jaber
;
Mohammad I. Younis
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resonant frequency;
Logic gates;
Performance evaluation;
Vibrations;
Additives;
Micromechanical devices;
73.
Enhanced photocatalytic degradation of organic pollutants using high-aspect-ratio Si/ITO/WO3 micropost photoelectrodes
机译:
使用高纵横比Si / ITO / WO3微柱光电极增强对有机污染物的光催化降解
作者:
X. Jiang
;
M. Liu
;
D. Zheng
;
X. Zhao
;
W. Wang
;
G. Sun
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Degradation;
Silicon;
Electrodes;
Indium tin oxide;
Sputtering;
Fabrication;
Etching;
74.
Piezoelectric and electromagnetic hybrid energy harvester using two cantilevers for frequency up-conversion
机译:
使用两个悬臂进行频率上变频的压电和电磁混合能量采集器
作者:
Dae-Sung Kwon
;
Hee-Jin Ko
;
Jongbaeg Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Substrates;
Vibrations;
Resonant frequency;
Power generation;
Voltage measurement;
Frequency measurement;
75.
Engineering a three-dimensional tissue model with a perfusable vasculature in a microfluidic device
机译:
在微流控设备中使用可灌注的脉管系统工程三维组织模型
作者:
Yuji Nashimoto
;
Itsuki Kunita
;
Akiko Nakamasu
;
Yu-suke Torisawa
;
Masamune Nakayama
;
Hidetoshi Kotera
;
Koichi Nishiyama
;
Takashi Miura
;
Ryuji Yokokawa
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microfluidics;
Microchannels;
Fluorescence;
In vivo;
Fibroblasts;
Biological system modeling;
Solid modeling;
76.
Electrostamping through sam layer for 1:1 transfer of 40-NM-wide patterns over MM2 area
机译:
通过sam层进行电烙印,以在MM2区域上以1:1的速度传输40海里的图案
作者:
Yongfang Li
;
Hiroshi Toshiyoshi
;
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Substrates;
Silicon;
Electrodes;
Lithography;
Resists;
Films;
Fabrication;
77.
Nano-patterning of motor proteins to control number of kinesin molecules transporting a single microtubule
机译:
电机蛋白的纳米模式可控制驱动单个微管的驱动蛋白分子的数量
作者:
Taikopaul Kaneko
;
Hirofumi Shintaku
;
Hidetoshi Kotera
;
Ryuji Yokokawa
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Gold;
Proteins;
Substrates;
Surface treatment;
In vivo;
Glass;
Fabrication;
78.
Broadband ring-shaped PMUTS based on an acoustically induced resonance
机译:
基于声共振的宽带环形PMUTS
作者:
Benjamin E. Eovino
;
Sina Akhbari
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Acoustics;
Bandwidth;
Resonant frequency;
Liquids;
Frequency response;
Performance evaluation;
Loading;
79.
C. Elegans immobilization using deformable microfluidics for in vivo studies of early embryogenesis and intestinal microbiota
机译:
C.使用可变形微流体固定线虫,用于体内早期胚胎发生和肠道菌群的研究
作者:
Li Dong
;
Jingwei Zhang
;
Matteo Cornaglia
;
Xiaopeng Huang
;
Thomas Lehnert
;
Martin Gijs
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Grippers;
Microorganisms;
Imaging;
Embryo;
In vivo;
Intestines;
Microfluidics;
80.
Electrochemical-mechanically triggered transient electronics
机译:
电化学机械触发的瞬态电子
作者:
Kyoseung Sim
;
Xu Wang
;
Cunjiang Yu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Transient analysis;
Resistors;
Optical imaging;
Etching;
Electrodes;
Optical device fabrication;
Logic gates;
81.
Electrostatic charge sensor based on micro resonator with sensing scheme of effective stiffness perturbation
机译:
基于微谐振器的静电载荷传感器,具有有效的刚度摄动方案
作者:
Dongyang Chen
;
Jiuxuan Zhao
;
Yinshen Wang
;
Jin Xie
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Sensitivity;
Resonant frequency;
Capacitors;
Force;
Electrostatics;
Sensors;
Mathematical model;
82.
A single-chip scanning probe microscope array
机译:
单芯片扫描探针显微镜阵列
作者:
M. Olfat
;
D. Strathearn
;
G. Lee
;
N. Sarkar
;
S. C. Hung
;
R. R. Mansour
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Imaging;
Resonant frequency;
Sensors;
Actuators;
Force;
Throughput;
Semiconductor device measurement;
83.
Precise control of natural and synthetic silk nanostructures using electron beam lithography
机译:
利用电子束光刻技术精确控制天然和合成丝纳米结构
作者:
Nan Qin
;
Shaoqing Zhang
;
Jianjuan Jiang
;
Zhitao Zhou
;
Xiaoxia Xia
;
Hu Tao
;
Keyin Liu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Proteins;
Nanostructures;
Resists;
Electron beams;
Sensitivity;
Lithography;
Nanobioscience;
84.
Stereo metamaterial with three dimensional meta-atoms fabricated by programmable stress induced deformation for optical modulation
机译:
具有三维偏原子的立体超材料,可通过可编程应力诱导变形制造,用于光学调制
作者:
Yifei Mao
;
Zhuojie Chen
;
Jia Zhu
;
Yini Pan
;
Wengang Wu
;
Jun Xu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Three-dimensional displays;
Metamaterials;
Optical device fabrication;
Gold;
Optical reflection;
Optical ring resonators;
85.
High sensitivity and high S/N microphone achieved by PZT film with central-circle electrode design
机译:
带有中心圆形电极设计的PZT膜实现了高灵敏度和高信噪比的麦克风
作者:
J.-L. Huang
;
S.-C. Lo
;
J.-J. Wang
;
C.-E. Lu
;
S.-H. Tseng
;
M.-C. Wu
;
W. Fang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Microphones;
Electrodes;
Signal to noise ratio;
Micromechanical devices;
Sensitivity;
Silicon;
Films;
86.
Highly sensitive detection of VOC using impact ionization induced by photoelectron
机译:
利用光电子引起的碰撞电离高灵敏度检测VOC
作者:
Yunsung Kang
;
Han-Il Jung
;
Dae-Hyun Baek
;
Kyounghoon Lee
;
Soonjae Pyo
;
Jongbaeg Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Cathodes;
Lighting;
Sensors;
Acceleration;
Chemicals;
Impact ionization;
87.
Sub-wavelength optical lithography via nanoscale polymer lens array
机译:
通过纳米级聚合物透镜阵列的亚波长光刻
作者:
Jin Wu
;
Kai Tao
;
Di Chen
;
Jianmin Miao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Resists;
Lenses;
Nanostructures;
Lithography;
Optical device fabrication;
Polymers;
Geometry;
88.
A fast-moving electrostatic crawling insect
机译:
快速移动的静电爬行昆虫
作者:
Mingjing Qi
;
Yangsheng Zhu
;
Zhiwei Liu
;
Xiaoyong Zhang
;
Xiaojun Yan
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Legged locomotion;
Insects;
Capacitors;
Electrodes;
Wires;
Prototypes;
89.
MOF nano-crystals of ZIF-8 identified as ambient NO2 gas absorbent by using resonant micro-cantilever experiment
机译:
ZIF-8的MOF纳米晶体通过共振微悬臂梁实验确定为环境NO2气体吸收剂
作者:
Pengcheng Xu
;
Haitao Yu
;
Tao Xu
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2017年
关键词:
Adsorption;
Atmosphere;
Nanocrystals;
Thermodynamics;
Water;
Moisture;
Scanning electron microscopy;
90.
A micro lung chip to assess air pollutant effects
机译:
用于评估空气污染物影响的微型肺芯片
作者:
Seungbeom Noh
;
Hanseup Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Lungs;
Pollution measurement;
Air pollution;
Permeability;
Atmospheric modeling;
Semiconductor device measurement;
Media;
91.
Annular ultrasonic micromotors fabricated from bulk PZT
机译:
由散装PZT制成的环形超声微电机
作者:
Prakruthi Hareesh
;
Don L. DeVoe
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Stators;
Electrodes;
Acoustics;
Rotors;
Micromotors;
Catheters;
Glass;
92.
Electrowetting-on-dielectric actuation of a spatial and angular manipulation MEMS stage
机译:
空间和角度操纵MEMS平台的介电上电润湿致动
作者:
Daniel J. Preston
;
Ariel Anders
;
Banafsheh Barabadi
;
Evelyn Tio
;
Yangying Zhu
;
DingRan Annie Dai
;
Evelyn N. Wang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Micromechanical devices;
Contacts;
Dielectrics;
Copper;
Electrodes;
Solid modeling;
Liquids;
93.
Hydro-ionic microthruster for locomotion in low-Reynold'S number ionic fluids
机译:
氢离子微推力器在低雷诺数离子流体中的运动
作者:
Daniel L. Magley
;
Vinayak Narasimhan
;
Hyuck Choo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Propulsion;
Fluids;
Batteries;
Gold;
Electro-osmosis;
Force;
Reservoirs;
94.
Lateral moving of an artificial flapping-wing insect driven by low voltage electromagnetic actuator
机译:
低压电磁致动器驱动的人工扑翼昆虫的侧向运动
作者:
Zhiwei Liu
;
Xiaojun Yan
;
Mingjing Qi
;
Yi Yang
;
Xiaoyong Zhang
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Insects;
Actuators;
Prototypes;
Force;
Electromagnetics;
Rails;
Fabrication;
95.
Advanced surface micromachining process — A first step towards 3D MEMS
机译:
先进的表面微加工工艺-迈向3D MEMS的第一步
作者:
Johannes Classen
;
Jochen Reinmuth
;
Arnd Kälberer
;
Andreas Scheurle
;
Sebastian Günther
;
Stefan Kiesel
;
Bernt Schellin
;
Jörg Bräuer
;
Laura Eicher
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Micromechanical devices;
Electrodes;
Standards;
Accelerometers;
Topology;
Wiring;
Silicon;
96.
Nanoelectrokinetic purification device for a continuous peritoneal dialysate recycler
机译:
用于连续腹膜透析液回收器的纳米电动纯化装置
作者:
Wonseok Kim
;
Kihong Kim
;
Hajeong Lee
;
Yon Su Kim
;
Jung Chan Lee
;
Gun Yong Sung
;
Sung Jae Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Iterative closest point algorithm;
Ions;
Microchannels;
Purification;
Electrodes;
Abdomen;
Nanoscale devices;
97.
Virtually rotated MEMS gyroscope with angle output
机译:
具有角度输出的虚拟旋转MEMS陀螺仪
作者:
Igor P. Prikhodko
;
Jeffrey A. Gregory
;
Michael W. Judy
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Damping;
Gyroscopes;
Harmonic analysis;
Micromechanical devices;
Rotation measurement;
Voltage measurement;
Time measurement;
98.
MEMS monolithic tri-axis high-shock accelerometers with MHz-level ultra-high resonant frequency
机译:
具有MHz级超高谐振频率的MEMS单片三轴高冲击加速度计
作者:
Hongshuo Zou
;
Fang Chen
;
Jiachou Wang
;
Haifei Bao
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Sensors;
Accelerometers;
Resonant frequency;
Sensitivity;
Piezoresistance;
Electric shock;
Acceleration;
99.
Formation of vessel-like channel using alginate fiber as a sacrificial structure
机译:
使用藻酸盐纤维作为牺牲结构形成血管状通道
作者:
Keigo Nishimura
;
Nobuhito Mori
;
Yuya Morimoto
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Optical fiber devices;
Three-dimensional displays;
Optical fiber networks;
Ink;
Sodium;
Electron tubes;
Ports (Computers);
100.
Cell coculture within electrically patterned cells and hydrogel structures
机译:
电模式化细胞和水凝胶结构内的细胞共培养
作者:
Jyong-Huei Lee
;
Yi-Ting Lo
;
Shih-Kang Fan
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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2017年
关键词:
Microstructure;
In vitro;
Electrodes;
Dielectrics;
Fluids;
Fans;
Bars;
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