粉末溅射法制备薄膜充电电池材料

摘要

经过长时间的研究和探索，在薄膜制作方法上研究开发了粉末磁控溅射镀膜法。利用这种方法，对全固体薄膜充电电池的多种负极活性物质、固体电解质、正极活性物质进行了薄膜材料的制作，得到了很好的结果。粉末溅射法的成功开发，使我们彻底摆脱了昂贵进口块状靶材的束缚，降低了全固体薄膜充电电池的制作成本，为进一步研究全固体薄膜充电电池奠定了坚实的基础。