斜入射スパッタリング法によるエレクトロタロミックWO_3薄膜の作製

摘要

エレクトロクロミック現象（EC）とは，電荷を注入することにより，可逆的に材料の色が変化する現象である。代表的なEC材料として酸化タングステン（WO_3）が挙げられる。WO_3を電解溶液中でカソード分極すると，電解質中のカチオンが固体内イオン拡散によってWO3内に供給されると，一部のW~（6＋）原子がW~（5＋）に還元されブ　原子価間遷移に由来する光吸収により青色に変化する．ア