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方震华; 黄慧锋;
南京电子技术研究所,江苏,南京,210039;
中兴通讯股份有限公司,南京,210012;
MEMS技术; 微型传感器; 微型机器人; 微型飞行器; 微纳卫星;
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:聚合物薄膜的CVD:在传感器,生物技术,微电子/有机电子,微流体,MEMS,复合材料和膜中的应用
机译:战略性基础技术增强项目(8):“使用金属材料的微电子机械(MEMS)的整体成型技术研究”的结果报告
机译:利用微电子机械系统(MEMS)加强核电厂安全性分析中的未来用途
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:DNA印刷集成多路复用器驱动微电子机械系统头(IDMH)和微流体流量估计
机译:关于微电子机械系统mEms中的卡西米尔效应
机译:微电子和机械系统(mEms)在交通基础设施管理中的适用性;最终的评论。 1月1日至3月3日至30日
机译:用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。
机译:微电子机械系统(MEMS)光学调制器,MEMS光学模块,MEMS光显示系统和MEMS光学调制方法
机译:MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
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