微电子机械系统(MEMS)传感器在汽车和消费类产品中的应用

摘要

过去十多年来,微系统技术(MicroSystem-Technology/MST)已被证实是行业生存的基础。迄今为止,这个行业仍被汽车领域所主导,正促成对各种不同应用的大量需求,如用于发动机控制的压力传感器、针对约束系统应用或底盘控制的加速度传感器、用于车辆动力和翻车感测的偏航率传感器(yaw rate sensor)等等。