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硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究

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摘要

设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比.结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证.结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好.

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来源
《传感技术学报》 |2008年第3期|428-430|共3页
作者
赵江铭; 陈晓阳; 刘武发; 杨杰伟; 王小静;
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作者单位

郑州大学机械工程学院,郑州,450001;

上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072;

郑州大学机械工程学院,郑州,450001;

郑州大学机械工程学院,郑州,450001;

上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.9;
关键词
静电微谐振器; 品质因子; 振幅电压比; 试验研究; 半经验公式;

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