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赵江铭; 沈雪谨; 张永宇; 陈晓阳;
上海大学,上海,200072;
MEMS; 静电硅微谐振器; 单侧支撑结构; 双侧支撑结构;
机译:具有静电驱动的微谐振器的大小依赖微谐振器的非线性振动
机译:使用双脉冲配置,来自硅微跑离谐振器的高光谱 - 时间纯度单光子
机译:加载了32 Gbps单硅微环谐振器的Mach-Zehnder调制器
机译:用于单侧静电悬架的微偏移测量方法
机译:复合半导体和硅中的可调微盘和微环谐振器。
机译:使用硅光子微环谐振器阵列单结构域抗体用于检测的蓖麻
机译:静电转换的面剪切模式硅mEms微谐振器
机译:单侧突然扩张中流动重新附着的试验研究
机译:利用单侧接触能力来制造半导体器件的方法,该单侧接触能力可提高未掺杂的多晶硅和掺杂的多晶硅的刻蚀选择性
机译:基于线性谐振的微谐振器中硅微谐振器的实时光电流监测和闭环控制调整
机译:基于微谐振器的线性吸收的实时光电流监测和闭环控制硅微谐振器的调整
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