柔性透明ITO导电聚酰亚胺薄膜的制备及光电性能

摘要

采用透明聚酰亚胺薄膜作为柔性衬底材料,通过射频磁控溅射法制备了不同氧化铟锡(ITO)厚度的柔性透明导电聚酰亚胺薄膜.对导电聚酰亚胺薄膜的透光率、方块电阻、禁带宽度、结晶结构及表面形貌等进行表征分析,系统研究了ITO厚度的影响规律.结果 表明,柔性透明导电聚酰亚胺薄膜具有优异的表面平整性和柔韧性;ITO沉积厚度和生长机制会对导电薄膜的光电性能和结构形貌产生重要影响,且透光和导电性与结晶、表面形貌的变化密切相关.当ITO厚度为180 nm时,导电聚酰亚胺薄膜在550 nm的透过率为87.4％,方块电阻低至14.3 kΩ/□.研究结果对制备光电性能优良的柔性电极材料具有重要意义.