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符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
1.1毫米波/亚毫米波肖特基二极管的应用背景与研究意义
1.2氮化镓基肖特基二极管优势与发展历史
1.3本论文工作内容计划与安排
第二章 GaN基肖特基二极管原理
2.1金属-半导体接触理论
2.2 GaN基肖特基二极管原理
2.3小结
第三章 GaN基肖特基二极管结构设计及仿真
3.1 Al组分渐变AlGaN/GaN异质结理论
3.2研究方案设计
3.3 GaN基肖特基二极管仿真
3.4小结
第四章 GaN基肖特基二极管外延材料生长及表征
4.1氮化物薄膜生长技术
4.2 GaN外延生长工艺流程及结构
4.3表征方法介绍及实验测试结果
4.4小结
第五章 GaN基肖特基二极管器件工艺及测试结果分析
5.1 GaN基肖特基二极管电极
5.2 GaN基肖特基二极管器件工艺流程
5.3 GaN基肖特基二极管测试结果分析
5.4毫米波/亚毫米波GaN基肖特基二极管实验
5.5小结
第六章 总结与展望
6.1总结
6.2展望
参考文献
致谢
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