声明
第一章 绪论
1.1 前言
1.2 微波压控介电材料
1.3 锆钛酸钡铁电材料
1.4 锡钛酸钡材料
1.5 本文的主要工作
参考文献
第二章 锆钛酸钡薄膜的制备及表征方法
2.1 引言
2.2 薄膜制备方法
2.3 表征方法
2.4 电极的制备方法
2.5 本章主要内容
参考文献
第三章 不同衬底温度的BZT薄膜的介电性能研究
3.1 引言
3.2 实验工艺
3.3 不同衬底温度对BZT薄膜介电性能的影响
3.4 本章小结
参考文献
第四章 在不同衬底上沉积的BZT薄膜以及BZT和BTS单双层复合薄膜的性质研究
4.1 引言
4.2 薄膜的制备
4.3 不同衬底上生长的BZT薄膜的性质研究
4.4 BZT和BTS双层复合膜的介电特性质研究
4.4 本章小结
参考文献
第五章 总 结
攻读硕士期间发表的论文
致谢