Luminescent Technologies, Inc., 2471 E. Bayshore Road, Palo Alto, CA 94303;
Crolles2 Alliance, 860 Rue Jean Monnet, 38920 Crolles, France;
optical lithography; inverse lithography technology (ILT); assist features; depth of focus (DOF); exposure latitude (EL); sub-resolution assist features (SRAF);
机译:减少掩模复杂度的反光刻技术新算法
机译:使用反光刻技术的双偶极子掩模合成
机译:反光刻技术的双图形掩膜生成方法
机译:使用逆光刻技术进行SRAF放置和尺寸
机译:在线光刻技术合成的等离子纳米结构:更小尺寸以及新材料和应用。
机译:胶体光刻法制备湿敏性聚乙二醇逆蛋白石微图案
机译:利用单一计算光刻框架优化从设计规则,源和掩模到全芯片:基于水平集方法的逆光刻技术(ILT)