electrostatic actuators; silicon-on-insulator; 660 Hz; comb electrodes; double SOI wafer; pure-rotation microscanner; self-aligned electrostatic vertical combdrives; self-aligned vertical electrostatic combdrives; static optical deflection angle; tilt motion;
机译:由自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子两轴常平架倾斜活塞微镜阵列
机译:一种用于扫描微镜的新型自对准垂直静电梳状驱动器
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:双SOI晶片中具有自对准静电垂直梳状驱动器的纯旋转微扫描仪的设计和制造
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:用于微扫描仪和微光学组件的垂直多晶圆集成的技术平台
机译:自对准,高性能微扫描仪的简单制造过程—演示了用于生成二维消融图案的方法
机译:Gaas晶圆制备亚微米沟道的双蚀刻技术及其在激光制备中的应用