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机译:一种用于扫描微镜的新型自对准垂直静电梳状驱动器
COMB-DRIVE ACTUATORS; TORSION ACTUATORS; MEMS; FABRICATION; NETWORKS; VOLTAGE;
机译:一种用于扫描微镜的新型自对准垂直静电梳状驱动器
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:自对准垂直静电梳状驱动器,用于微镜驱动
机译:用于扫描微镜的自对准垂直静电结合物
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:具有大扫描角度的PZT致动和感应谐振微镜采用机械杠杆放大技术进行双轴扫描
机译:由径向垂直梳状驱动器驱动的双轴mEms扫描仪
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。