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International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
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A CAPILLARY SYSTEM WITH THERMAL-BUBBLE-ACTUATED 1×N MICRO FLOW SWITCH VIA TIME-SEQUENCE POWER CONTROL FOR CONTINUOUS LIQUID HANDLING
机译:
具有热气泡驱动的1×N微流量开关的毛细管系统,通过时序功率控制进行连续液体处理
作者:
Chin-Ming Cheng
;
Cheng-Hsien Liu
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Micro flow switch;
Bubble;
Capillary;
2.
MICROMACHINED ARRAY MICRO JET FOR INHALATION DRUG THERAPY
机译:
用于吸入药物治疗的微机械阵列微喷射
作者:
Junhua Zhu
;
Zhaoying Zhou
;
Yanying Feng
;
Dong Lin
;
Guibing Du
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
MEMS;
Microjet;
Pressure wave;
3.
AIR DAMPING OF MICROBEAM RESONATORS IN A LOW VACUUM
机译:
低真空中微波谐振器的空气阻尼
作者:
Wenjing Ye
;
Same Hutcherson
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Air damping;
Micro resonators;
Molecular Dynamics simulation;
Quality factor;
4.
A PIEZOELECTRIC MICRO-ACTUATOR WITH THREE DIMENSIONAL STRUCTURE AND ITS MICRO-FABRICATION
机译:
具有三维结构的压电微致动器及其微制造
作者:
Peng Gao
;
Kui Yao
;
Xiaosong Tang
;
Xujiang He
;
Santiranjan Shannigrahi
;
Yaolong Lou
;
Jian Zhang
;
Kanzo Okada
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Micro-actuator;
Piezoelectric thin film;
Micro-fabrication;
Wafer-bonding;
5.
Sub-micro-gravity capacitive SOI microaccelerometers
机译:
子微重力电容式SOI微基圆形仪表
作者:
Amini B.V.
;
Abdolvand R.
;
Ayazi F.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
CMOS analogue integrated circuits;
accelerometers;
amplifiers;
capacitive sensors;
circuit noise;
integrated circuit design;
micromachining;
microsensors;
power consumption;
random noise;
sensitivity;
silicon-on-insulator;
substrates;
switched capacitor networks;
6 mW;
6.
THERMAL FLEXIBLE FOIL-FINGERPRINTSENSOR
机译:
热柔性箔指纹传感器
作者:
Patrick Schippers
;
Michael P. Dobmeier
;
Ruben Kuehlewein
;
Burkhard Bustgens
;
Gerald Urban
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Biometry;
Fingerprint;
Flexible;
Sensor;
7.
MOEMS FOCUSING DEVICE WITH IDEAL PARABOLIC DEFLECTION SHAPE
机译:
Moems专注于理想抛物偏转形状的装置
作者:
Ulrich M. Mescheder
;
Carlos Estan
;
Gergoe Somogyi
;
Markus Freudenreich
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
MOEMS;
Electrostatic focusing device;
FEM simulation;
SOI;
8.
Sub-mm encapsulated accelerometers: a fully implantable sensor for cochlear implants
机译:
子MM封装的加速度计:用于耳蜗植入物的完全植入传感器
作者:
Woo-Tae Park
;
OConnor K.N.
;
Mallon J.R. Jr.
;
Maetani T.
;
Candler R.N.
;
Ayanoor-Vitikkate V
;
Roberson J.B.
;
Puria S.
;
Kenny T.W.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
accelerometers;
biomedical transducers;
ear;
encapsulation;
hearing aids;
microsensors;
prosthetics;
silicon;
230 micron;
387 micron;
Si;
cochlear implants;
epi-polysilicon;
implantable sensor;
middle ear implants;
middle ear ossicles;
submillimeter encapsulated acceler;
9.
Polysilicon packaging and a new anchoring technology for thick SOI MEMS /sub y/namic response model and application to over-damped inertial sensors
机译:
多晶硅包装和用于厚SOI MEMS / SUB Y / Namic响应模型的新锚固技术和过度阻尼惯性传感器的应用
作者:
Diem B.
;
Barbe J.C.
;
de Crecy F.
;
Giroud S.
;
Renaud D.
;
Grange H.
;
Hammond J.
;
Vandemeer J.
;
Roop R.
;
Gogoi B.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
accelerometers;
damping;
electronics packaging;
micromachining;
microsensors;
silicon-on-insulator;
anchoring technology;
automotive applications;
damping model;
dynamic response model;
high aspect ratio SOI surface micromachining;
low g accelerometer;
nitride ancho;
10.
Inertial-grade out-of-plane and in-plane differential resonant silicon accelerometers (DRXLs)
机译:
惯性等级外平面和面内差分谐振硅加速度计(DRXL)
作者:
Hyeon Cheol Kim
;
Seonho Seok
;
Ilwhan Kim
;
Soon-Don Choi
;
Kukjin Chun
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
accelerometers;
electrostatic devices;
inertial navigation;
micromechanical devices;
100 Hz;
110 Hz;
12 kHz;
23.4 kHz;
DRXL;
electrostatic force;
gap-sensitive electrostatic stiffness;
in-plane resonant silicon accelerometers;
inertial navigation;
inertial-grade reso;
11.
Trapping and manipulation of particles and droplets using micro-toroidal convection currents
机译:
使用微环形对流电流捕获和操纵粒子和液滴
作者:
Basu A.S.
;
Gianchandani Y.B.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Benard convection;
drops;
microfluidics;
micromachining;
oils;
80 to 400 micron;
XY scanning stage;
convective flow pattern;
droplet trapping;
micro-toroidal convection currents;
micromachined heat sources;
water microdroplets;
weed pollen;
12.
A novel thermal-bubble-based micromachined accelerometer
机译:
一种新型的热气泡微机械加速度计
作者:
Ke-Min Liao
;
Rongshun Chen
;
Chou B.C.S.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
acceleration measurement;
accelerometers;
bubbles;
flow;
heat transfer;
micromachining;
microsensors;
sensitivity;
vaporisation;
fluid flow behavior;
heat transfer;
high flux heater;
liquid vaporization;
micro-chamber;
micromachined accelerometer;
thermal-bubble-based;
13.
Liquid-core, piezoresistive, fully polymer-based pressure sensor
机译:
液体,压阻,完全聚合物基压力传感器
作者:
Lichtenberg J.
;
Hierlemann A.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
elastomers;
electric resistance;
membranes;
microfluidics;
micromachining;
microsensors;
piezoresistive devices;
pressure sensors;
pressure transducers;
device fabrication;
elastic membrane;
electrolyte-filled microfluidic channel;
liquid-core piezoresistive polymer;
14.
CMOS IMAGER BASED ON SINGLE PHOTON AVALANCHE DIODES
机译:
基于单光子雪崩二极管的CMOS成像仪
作者:
Cristiano Niclass
;
Alexis Rochas
;
Pierre-Andre Besse
;
Radivoje S. Popovic
;
Edoardo Charbon
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
CMOS avalanche photodiodes;
SPAD arrays;
Single photon detectors;
High speed imagers;
15.
Small footprint knife gate microvalves for large flow control
机译:
小脚印刀栅极微型阀门用于大型流量控制
作者:
Braun S.
;
Haasl S.
;
Sadoon S.
;
Ridgeway A.S.
;
van der Wijngaart W.
;
Stemme G.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
microactuators;
microfluidics;
microvalves;
orifices (mechanical);
100 kPa;
3.7 mm;
Al;
Si;
actuator-gates;
area-optimized micromachined knife gate microvalves;
large flow control microvalves;
microfluidics;
micropneumatics;
out-of-plane actuators;
out-of-plane orific;
16.
Beads actuation with kinesin on a microtubule immobilized in a nano fluidic channel
机译:
用kinesin在固定在纳米流体通道中的微管上的珠子致动
作者:
Yokokawa R.
;
Yoshida Y.
;
Takeuchi S.
;
Kon T.
;
Sutoh K.
;
Fujita H.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
microfluidics;
proteins;
PDMS-glass nanochannel;
bead actuation;
gliding assay;
kinesin-coated beads;
microtubule;
nanofluidic channel;
nanoscale channel;
transportation technique;
17.
SILICON ANISOTROPIC WET ETCHING SIMULATION USING MOLECULAR DYNAMICS
机译:
使用分子动力学的硅各向异性湿法蚀刻模拟
作者:
T. Kakinaga
;
A. Hatai
;
O. Tabata
;
Yoshitada Isono
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
18.
Fabrication of 3D nanowire frames by conventional micromachining technology
机译:
传统微机械技术的3D纳米线帧的制造
作者:
Sarajlic E.
;
Berenschot E.
;
Krijnen G.
;
Elwenspoek M.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
etching;
micromachining;
nanotechnology;
nanowires;
3D nanowire frames;
addressable three-dimensional nanometer-sized structures;
concave corners;
conformally deposited material;
conventional micromachining technology;
dots;
etching mask;
fabrication;
freestanding c;
19.
A MICROBALL-BEARING-SUPPORTED LINEAR ELECTROSTATIC MICROMOTOR WITH BENZOCYCLOBUTENE POLYMER INSULATING LAYERS
机译:
具有苯并环丁烯聚合物绝缘层的微轴承支撑的线性静电微量运动
作者:
Alireza Modafe
;
Nima Ghalichechian
;
Alex Frey
;
Jeffrey H. Lang
;
Reza Ghodssi
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Variable-capacitance micromotor;
Microball bearings;
Benzocyclobutene;
BCB;
20.
Nanofluidic molecular filters for efficient protein separation and preconcentration
机译:
纳米流体分子过滤器,用于有效蛋白质分离和前浓度
作者:
Ying-Chih Wang
;
Jianping Fu
;
Pan Mao
;
Jongyoon Han
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
filtration;
macromolecules;
microfluidics;
nanostructured materials;
nanotechnology;
proteins;
separation;
40 nm;
60 to 120 nm;
capillary gel electrophoresis;
double-stranded DNA;
gel-free separation device;
nanochannels;
nanofilter array device;
nanofluidic channels;
21.
TUNABLE, MEMBRANE-BASED, LIQUID-FILLED MICRO-LENSES
机译:
可调谐,基于膜,液体填充的微透镜
作者:
Armin Werber
;
Hans Zappe
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Micro-lenses;
Micro-fluidics;
Tunable optics;
22.
Non-catalyst and low temperature growth of vertically aligned carbon nanotubes for nanosensor arrays
机译:
用于纳米传感器阵列的垂直取向碳纳米管的非催化剂和低温生长
作者:
Pham H.T.M.
;
de Boer C.R.
;
Sarro P.M.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
aluminium compounds;
anodisation;
carbon nanotubes;
nanoporous materials;
plasma CVD;
1 micron;
30 to 70 nm;
40 nm;
400 degC;
AAO templates;
Al/sub 2/O/sub 3/;
C;
RF PECVD;
low temperature CNT growth;
low temperature IC-compatible process;
methane;
nanosensor arrays;
nan;
23.
Tunable micro-aspherical lens manipulated by 2D electrostatic forces
机译:
由2D静电力操纵的可调谐微型非球面镜头
作者:
Chang-Wei Chen
;
Fan-Gang Tseng
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
aspherical optics;
electric fields;
microlenses;
optical fabrication;
optical polymers;
2D electrostatic forces;
Strehl ratio;
aspherical micro lens;
cone shape;
electro-wetting forces;
electrostatic forces;
hemispherical shape;
numerical aperture;
paraboloid shape;
p;
24.
A dynamic millinewton thrust vector measurement system in silicon
机译:
硅中动态米隆纺出推矢量测量系统
作者:
Eriksson A.B.
;
Lindegren R.
;
Kohler J.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
force measurement;
force sensors;
microactuators;
microsensors;
modal analysis;
rocket engines;
Si;
TVMS;
dynamic thrust vector measurement system;
micropropulsion systems;
microrocket engine arrays;
modal analysis;
solid combustion microrockets;
25.
The 2D feedback conveyance with ciliary actuator arrays
机译:
具有纤井执行器阵列的2D反馈传送
作者:
Ataka M.
;
Legrand B.
;
Buchaillot L.
;
Collard D.
;
Fujita H.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
CCD image sensors;
feedback;
microactuators;
programmable logic arrays;
2D feedback conveyance;
CCD camera;
PLD;
arrayed microactuators;
cell-structured microactuators;
ciliary actuator arrays;
control layer;
feedback control;
mechanical layer;
microsystem;
programmab;
26.
A LATERAL FIELD-EMISSION RF MEMS DEVICE
机译:
横向场发射RF MEMS装置
作者:
Kiyotaka Yamashita
;
Winston Sun
;
Kuniyuki Kakushima
;
Hiroyuki Fujita
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
RFMEMS;
Field Emission;
Micro-oscillator;
27.
FISHBONE-SHAPED VERTICAL COMB ACTUATOR FOR DUAL-AXIS 1-D ANALOG MICROMIRROR ARRAY
机译:
用于双轴1-D模拟微镜阵列的鱼叉垂直梳致动器
作者:
Norinao Kouma
;
Osamu Tsuboi
;
Hiroinitsu Soneda
;
Satoshi Ueda
;
Ippei Sawaki
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Mcromirror;
Comb;
Actuator;
28.
Liquid loading of silicon-based cantilevers using electrowetting actuation for microspotting applications
机译:
硅基悬臂器的液体负荷使用电灌输性驱动进行微型射流应用
作者:
Leichle T.
;
Saya D.
;
Belaubre P.
;
Pourciel J.B.
;
Mathieu F.
;
Laur J.P.
;
Nicu L.
;
Bergaud C.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
drops;
microactuators;
phosphorus;
semiconductor doping;
silicon;
20 micron;
30 V;
MEMS patterning tools;
Si;
Si:P;
direct contact deposition;
droplet formation;
electrowetting actuation;
liquid loading;
liquid storage reservoir;
metallic electrode patterning;
microspot;
29.
AN ACTIVE MICROSCAFFOLD FOR CULTURING 3-D NEURONAL NETWORKS
机译:
用于培养3-D神经元网络的活跃的微观形状
作者:
Laura Rowe
;
Mahmoud Almasri
;
Nick Fogleman
;
A. Bruno Frazier
;
Gregory J. Brewer
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Scaffold;
Microfluidics;
SU-8;
3-D neuronal cultures;
30.
5GHz Low-phase-noise Oscillator Based on FBAR with Low TCF
机译:
5GHz低阶段噪声振荡器基于FBB的FBY,低TCF
作者:
Hao Zhang
;
Jongjin Kim
;
Wei Pang
;
Hongyu Yu
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
31.
FULLY INTEGRATED CMOS RESONANT CANTILEVER SENSOR FOR BIOCHEMICAL DETECTION IN LIQUID ENVIRONMENTS
机译:
完全集成的CMOS谐振悬臂传感器,用于液体环境中的生化检测
作者:
Cyril Vancura
;
Yue Li
;
Kay-Uwe Kirstein
;
Fabien Josse
;
Andreas Hierlemann
;
Jan Lichtenberg
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Cantilever sensor;
CMOS technology;
Biochemical detection;
Resonant operation;
32.
THERMOPNEUMATIC-ACTUATED PDMS MICRO VALVE AND MICROPUMP INTEGRATED WITH THE SAME FABRICATION PROCESS
机译:
热气驱动的PDMS微阀和微泵与相同的制造过程集成
作者:
Jong-Chul Yoo
;
Min-Chul Moon
;
C. J. Kang
;
Yong-Sang Kim
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
PDMS;
Microfludic System;
Micropump;
Microvalve;
Integration;
33.
THE FREQUENCY DESIGN OF NOZZLES LAYOUT OF THE PIEZOELECTRICALLY ACTUATED MICRO DROPLET GENERATOR BASED ON A FLUID-SOLID INTERACTION MODAL ANALYSIS
机译:
基于流体固体相互作用模态分析的压电致动微液滴发生器喷嘴布局的频率设计
作者:
Yanying Feng
;
Zhaoying Zhou
;
Guibin Du
;
Junhua Zhu
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Modal analysis;
Fluid-solid coupling;
Micro Droplet generator;
Nozzles layout;
34.
GaN ON PATTERNED SILICON (GPS) TECHNIQUE FOR FABRICATION OF GaN-BASED MEMS
机译:
GaN在图案硅(GPS)技术上制造GaN的MEMS技术
作者:
Zhenchuan Yang
;
Ruonan Wang
;
Shuo Jia
;
Deliang Wang
;
Baoshun Zhang
;
Kevin J. Chen
;
Kei May Lau
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
GaN;
MEMS;
Selective area growth;
35.
A micromachined polyurethane/stainless-steel capacitive pressure sensor without cavity and diaphragm
机译:
没有腔和隔膜的微机械聚氨酯/不锈钢电容式压力传感器
作者:
Takahata K.
;
Gianchandani Y.B.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
capacitive sensors;
deformation;
micromachining;
polymers;
pressure sensors;
stainless steel;
2.4 mm;
4 mm;
capacitance wireless interrogation;
capacitive pressure sensor;
micro-electro-discharge machining;
micromachined metal electrode plates;
polymer layer deforma;
36.
2-D and 3-D tactile pin display using SMA micro-coil actuator and magnetic latch
机译:
使用SMA微卷致动器和磁闩锁2-D和3-D触觉引脚显示
作者:
Matsunaga T.
;
Makishi W.
;
Totsu K.
;
Esashi M.
;
Haga Y.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
display devices;
electromagnetic actuators;
haptic interfaces;
microactuators;
shape memory effects;
0.3 s;
2 mm;
2.5 mm;
2D tactile pin display;
3D tactile pin display;
Braille;
SMA micro-coil actuator;
character information display;
dynamic motion display;
graphic i;
37.
Thin film NiTi fluidic-thermostat array
机译:
薄膜NITI流体 - 恒温器阵列
作者:
Shin D.D.
;
Dong-Gun Lee
;
Mohanchandra K.P.
;
Carman G.P.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
microactuators;
microfluidics;
nickel alloys;
shape memory effects;
thermostats;
thin film devices;
titanium alloys;
6.9 to 34.5 kPa;
80 degC;
Ni-Ti;
SMA energy density property;
environmental fluid temperature induced changes;
flow restricting thermostats;
temperatu;
38.
SOI micromachined 5-axis motion sensor using resonant electrostatic drive and non-resonant capacitive detection mode
机译:
SOI微机械5轴运动传感器使用谐振静电驱动和非谐振电容检测模式
作者:
Watanabe Y.
;
Mitsui T.
;
Mineta T.
;
Matsu Y.
;
Okada K.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
acceleration measurement;
bonding processes;
capacitive sensors;
electrostatic actuators;
getters;
micromachining;
micromechanical resonators;
microsensors;
motion measurement;
sensitivity;
silicon-on-insulator;
vibrations;
1.7 mm;
5.0 mm;
SOI micromachined 5-axis mot;
39.
Low Loss K-Band Tunable Bandpass Filter Using Micromachined Variable Capacitors
机译:
低损耗K波段可调带通道过滤器,使用微机械可变电容器
作者:
Jong-Man Kim
;
Sanghyo Lee
;
Jae-Hyoung Park
;
Jung-Mu Kim
;
Chang-Wook Baek
;
Youngwoo Kwon
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
K-band tunable filter;
MEMS variable capacitor;
Shunt-type resonator;
Low insertion loss;
40.
GaN FILM GROWTH ON Si SUBSTRATE FOR SUB-WAVELENGTH OPTICAL MEMS
机译:
亚波长光学MEMS的SI衬底上的GaN膜生长
作者:
E.-R. Hu
;
K. Ochi
;
B.-S. Choi
;
Y. Kanamori
;
K. Hane
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
GaN;
MBE;
Epitaxy;
Resonant grating;
41.
ANALYSIS AND DESIGN OF DIFFERENTIAL ELECTROMAGNETIC TRANSDUCER FOR IMPLANTABLE MIDDLE EAR USING FINITE ELEMENT METHOD
机译:
用有限元法测定型中耳差动电磁传感器的分析与设计
作者:
Min-Kyu Kim
;
Young-Ho Yoon
;
Hyung-Gyu Lim
;
Byung-Seop Song
;
Il-Yong Park
;
Jin-Ho Cho
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Differential electromagnetic transducer;
Vibration;
Characteristics;
42.
Foxtail Actuators
机译:
狐尾致动器
作者:
Makoto Mita
;
Kuniyuki Kakushima
;
Manabu Ataka
;
Hiroshi Toshiyoshi
;
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Deep RIE;
Actuator;
Bulk micromachining;
43.
A planar 2-stage micromixer
机译:
平面2级微混合器
作者:
Stoeber B.
;
Liepmann D.
;
Muller S.J.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
diffusion;
flow;
liquid mixtures;
microfluidics;
micromachining;
microvalves;
mixing;
diffusion length;
fabrication;
fluid layer distortion;
fluid layer stretching;
independently actuated valves;
integrated resistive heaters;
liquid flow;
materials;
microfluidic system;
44.
Selective bridging of single-walled carbon nanotubes controlled with electric field applied to silicon structures
机译:
用电场控制的单壁碳纳米管的选择性桥接,应用于硅结构
作者:
Takei Y.
;
Hoshino K.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
carbon nanotubes;
chemical vapour deposition;
electric field effects;
elemental semiconductors;
nanotechnology;
silicon;
C;
SEM images;
Si;
catalytic CVD;
electric field controlled selective bridging;
selective growth;
silicon structure CNT bridging;
single-walled ca;
45.
Microlens array and micro clampers for high performance optoelectronic devices packaging
机译:
微透镜阵列和微夹钳,用于高性能光电器件包装
作者:
Nallani A.K.
;
Ting Chen
;
Lee J.B.
;
Hayes D.J.
;
Wallace D.B.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
clamps;
electronics packaging;
microassembling;
microlenses;
moulding;
optical interconnections;
optoelectronic devices;
photodiodes;
reflow soldering;
surface emitting lasers;
80 percent;
OE devices packaging;
OE interconnects;
VCSEL;
high efficiency optical coupling;
46.
IMPROVEMENT OF THERMAL RESPONSE IN TEMPERATURE CONTROLLED PRECISE THREE-AXIS ACCELEROMETER WITH STABILIZED CHARACTERISTICS OVER A WIDE TEMPERATURE RANGE
机译:
温度控制中热响应的提高,三轴加速度计,具有宽温度范围内的稳定特性
作者:
Kyung Il Lee
;
Hidekuni Takao
;
Kazuaki Sawada
;
Hee Don Seo
;
Makoto Ishida
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Thermal Response;
FEM;
Accelerometers;
Constant Temperature Control;
SOI;
47.
Monolithic integration of high voltage driver circuits and MEMS actuators by ASIC-like postprocess
机译:
高压驱动电路和MEMS执行器的单片集成ASIC样后处理
作者:
Takahashi K.
;
Kwon H.N.
;
Mita M.
;
Fujita H.
;
Toshiyoshi H.
;
Suzuki K.
;
Funaki H.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
MOS integrated circuits;
application specific integrated circuits;
driver circuits;
electrostatic actuators;
microlenses;
optical scanners;
power integrated circuits;
silicon-on-insulator;
sputter etching;
ASIC-like postprocess;
DMOS;
DRIE;
MEMS actuators;
SOI;
applic;
48.
Reliable in-vivo penetration and transdermal injection using ultra-sharp hollow microneedles
机译:
使用超锋利的空心微针可靠地渗透和透皮注射
作者:
Roxhed N.
;
Griss P.
;
Stemme G.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
drug delivery systems;
micromachining;
needles;
counter electrode;
dry living human skin;
in-vivo penetration;
liquid dye;
minimally invasive microneedles;
painless drug administration;
shoulder;
sustainable injection;
transdermal injection;
ultra-sharp hollow micro;
49.
Design and operation of a micromachined bubble-jet cell sorter
机译:
微机械泡沫喷射细胞分拣机的设计与运行
作者:
Chung-Chu Chen
;
Jen-Shiang Wang
;
Zappe S.
;
Xiaojing Zhang
;
Solgaard O.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
jets;
microactuators;
microfluidics;
micromachining;
micromanipulators;
separation;
20 micron;
4.9 mus;
50 kHz;
biological cell micromanipulation;
cell separation;
deflecting jets;
flow cytometric cell sorting;
high-speed microfluidic cell sorter;
inorganic particle m;
50.
A portable multi-sensor datalogger for heart rate variability (HRV) study during skydiver's free fall
机译:
用于心率变异性(HRV)的便携式多传感器数据记录器(HRV)在跳伞自由落体期间的研究
作者:
Hermans B.
;
Verheyden B.
;
Beckers F.
;
Aubert A.
;
Puers R.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
acceleration measurement;
attitude measurement;
data acquisition;
data loggers;
electrocardiography;
height measurement;
sensor fusion;
HRV;
RAMSES;
absolute pressure sensor;
accelerometers;
altitude monitoring;
data-acquisition module;
environmental information;
hars;
51.
Thermal flexible foil-fingerprint sensor
机译:
热柔性箔指纹传感器
作者:
Schippers P.
;
Dobmeier M.P.
;
Kuehlewein R.
;
Bustgens B.
;
Urban G.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
fingerprint identification;
microsensors;
smart cards;
temperature measurement;
biometrics;
flexible sensor;
microsystem technology;
silicon fingerprint sensors;
smartcards;
thermal flexible foil-fingerprint sensor;
thermal measurement principle;
52.
First fully CMOS-integrated 3D Hall probe
机译:
第一个完全CMOS集成的3D霍尔探头
作者:
Kejik P.
;
Schurig E.
;
Bergsma F.
;
Popovic R.S.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
CMOS integrated circuits;
Hall effect transducers;
error compensation;
magnetic field measurement;
magnetic sensors;
microsensors;
0 Hz to 30 kHz;
CMOS-integrated 3D Hall probe;
Hall probe microsystem;
band-gap cell temperature sensor;
low cross talk;
magnetic fiel;
53.
MICROMACHINED MID-INFRARED TUNABLE FABRY-PEROT FILTER
机译:
Micromachined中红外可调罩Fabry-Perot过滤器
作者:
Norbert Neumann
;
Karla Hiller
;
Steffen Kurth
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Fabry-Perot filter;
Bragg reflector;
Bulk micromachining;
Antireflection coating;
54.
LOW-INSERTION-LOSS COMPACT 3D-MEMS OPTICAL MATRIX SWITCH WITH 18 INPUT/OUTPUT PORTS
机译:
低插入损耗紧凑型3D-MEMS光学矩阵开关,具有18个输入/输出端口
作者:
Atsushi Kazama
;
Yasuhiro Itou
;
Masaya Horino
;
Kazuyuki Fukuda
;
Masatoshi Kanamam
;
Temhisa Akashi
;
Tadaaki Ishikawa
;
Takeshi Harada
;
Ryoji Okada
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Optical switch;
Electrostatic mirror;
Bulk micromachining;
55.
Two-chip implemented, wafer-level hermetic packaged accelerometer for tactical and inertial applications
机译:
用于战术和惯性应用的双芯片,晶片级密封包装加速度计
作者:
Hyoungho Ko
;
Sangjun Park
;
Byoung-doo Choi
;
Yonghwa Park
;
Geunwon Lim
;
Seung-Joon Paik
;
Ahra Lee
;
Kwangho Yoo
;
Sangmin Lee
;
Jaesang Lim
;
Sang Chul Lee
;
Min Ha Park
;
Hyun-Su Jang
;
Jeongpyo Lee
;
Yong Kyu Roh
;
Dong-il Cho
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
accelerometers;
bonding processes;
electronics packaging;
hermetic seals;
integrated circuit design;
micromachining;
microsensors;
random noise;
readout electronics;
semiconductor device reliability;
silicon;
EEPROM trimmable architecture;
MEMS accelerometers;
Si;
cap;
56.
Fusion of biomedical microcapsule endoscope and microsystem technology
机译:
生物医学微胶囊内窥镜和微系统技术的融合
作者:
Tae Song Kim
;
Byungkyu Kim
;
Dongil Dan Cho
;
Si Young Song
;
Dario P.
;
Sitti M.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
biomedical imaging;
diseases;
endoscopes;
health care;
medical robotics;
micromechanical devices;
patient treatment;
biomedical microcapsule endoscope;
controllable robotic endoscopic capsules;
digestive system diseases;
disease diagnosis;
disease treatment;
health;
57.
Dispensing of cells for highly parallel production of living cell microarrays
机译:
用于高度平行的活细胞微阵列的细胞分配细胞
作者:
Gutmann O.
;
Wintermantel M.K.
;
Niekrawietz R.
;
de Heij B.
;
Zengerle R.
;
Daub M.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
biomedical measurement;
biosensors;
microfluidics;
microsensors;
nozzles;
EDC-NHS;
biomedical assays;
highly parallel living cell microarrays;
living cell dispensing;
living cell survival rate;
multiple nozzle printhead;
noncontact printing;
parallel cell printing t;
58.
DESIGN AND FABRICATION OF MULTI-DEGREES-OF-FREEDOM SINGLE CRYSTAL SILICON MOVEABLE PLATFORMS ON SOI WAFER
机译:
SOI晶圆上多程度自由度单晶硅可移动平台的设计和制造
作者:
Huai-Yuan Chu
;
Shih-Wei Lee
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
SOI DAWN process;
SCS movable platforms;
Multi-degrees-of-freedom;
59.
Design and fabrication of a pure-rotation microscanner with self-aligned electrostatic vertical combdrives in double SOI wafer
机译:
双旋转Microscanner的设计与制造双SOI晶片中的自对准静电垂直切口
作者:
Mizoguchi Y.
;
Esashi M.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
electrostatic actuators;
silicon-on-insulator;
660 Hz;
comb electrodes;
double SOI wafer;
pure-rotation microscanner;
self-aligned electrostatic vertical combdrives;
self-aligned vertical electrostatic combdrives;
static optical deflection angle;
tilt motion;
60.
CLOSED FORM ANALYSIS OF PIEZOELECTRIC MULTILAYER BENDING ACTUATORS USING CONSTITUENT EQUATIONS
机译:
用组成方程的压电多层弯曲致动器的闭合形式分析
作者:
Rtidiger G. Ballas
;
Helmut F. Schlaak
;
Andreas J. Schmid
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Piezoelectric bending actuator;
Multilayer;
Constituent equations;
Closed form solution;
Energy concept;
61.
A new age for MEMS
机译:
MEMS的新时代
作者:
Petersen K.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
integrated circuit technology;
micromachining;
micromechanical devices;
MEMS;
accelerometers;
digital mirror displays;
ink jet print heads;
integrated circuit community;
pressure sensors;
62.
Fabrication of silicon nanostructures with various sidewall profiles and sharp tips
机译:
各种侧壁型材的硅纳米结构的制造和尖锐的尖端
作者:
Chang-Hwan Choi
;
Chang-Jin Kim
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
nanolithography;
silicon;
sputter etching;
DRIE;
deep reactive ion etching;
high-aspect-ratio silicon nanostructures;
interference lithography;
nanograting;
nanopost patterns;
pointed re-entrant profile tips;
sidewall profiles;
silicon nanostructure fabrication;
the;
63.
PLANAR INDUCTOR WITH FERRITE LAYERS FOR DC-DC CONVERTER
机译:
具有用于DC-DC转换器的铁氧体层的平面电感器
作者:
Yasuhiko Mano
;
Seok Bae
;
Jinseok Moon
;
Hyungmi Jung
;
Yongsoo Oh
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Dc-dc converter;
Inductor;
Ferrite plating;
PCB;
64.
Concrete the Aligned CNT-films
机译:
混凝土对齐的CNT膜
作者:
Huai-Yuan Chu
;
Tso-Chi Chang
;
Wen-Kuang Hsu
;
Weileun Fang
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Concreting the aligned CNT-films;
Mechanical properties test;
"CNT-polymer" composite-film;
65.
Directivity Steering Principle for Biomimicry Silicon Microphone
机译:
生物化硅麦克风的指导性转向原理
作者:
N. ONO
;
T. ARITA
;
Y. SENJO
;
S. ANDO
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Biomimicry;
Silicon microphone;
Directivity;
Sound separation;
Acoustic sensor;
66.
A PIEZOELECTRIC MICRO-CANTILEVER BIO-SENSOR USING THE MASS-MICRO-BALANCING TECHNIQUE WITH SELF-EXCITATION
机译:
一种压电微悬臂生物传感器,采用自激振荡的质量微平衡技术
作者:
Yeolho Lee
;
Geunbae Lim
;
Wonkyu Moon
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
PZT-micro cantilever;
Mass-micro-balancing;
Self-exciting;
67.
Sapphire-based capacitance diaphragm gauge for high temperature applications
机译:
基于蓝宝石的电容隔膜表,用于高温应用
作者:
Ishihara T.
;
Sekine M.
;
Ishikura Y.
;
Kimura S.
;
Harada H.
;
Nagata M.
;
Masuda T.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
capacitive sensors;
diaphragms;
electronics packaging;
pressure sensors;
sapphire;
0 to 13 kPa;
0 to 133 Pa;
0 to 1333 Pa;
100 to 200 C;
300 kPa;
capacitive pressure sensor chip;
corrosion resistance;
dynamic absolute pressure range;
high temperature applications;
int;
68.
Next generation pressure sensors in surface micromachining technology
机译:
表面微机械技术中的下一代压力传感器
作者:
Lammel G.
;
Armbruster S.
;
Schelling C.
;
Benzel H.
;
Brasas J.
;
Illing M.
;
Gampp R.
;
Senz V.
;
Schafer F.
;
Finkbeiner S.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
etching;
membranes;
micromachining;
microsensors;
porous semiconductors;
pressure sensors;
silicon;
IC-process;
MEMS;
analog/digital semiconductor process;
electrochemical etching;
epitaxial silicon layer;
mask layers;
membrane fabrication;
monocrystalline membrane;
ne;
69.
A micromachined gyroscope with piezoresistance for both high performance Coriolis-effect detection and torsional vibration monitoring
机译:
具有压渗透压的微加工陀螺仪,用于高性能科里奥利效应检测和扭转振动监测
作者:
Xuemeng Chen
;
Xinxin Li
;
Zhaohui Song
;
Shusen Huang
;
Yuelin Wang
;
Jiwei Jiao
;
Heng Yang
;
Ying Zhang
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Coriolis force;
angular velocity measurement;
compensation;
feedback;
gyroscopes;
micromachining;
microsensors;
piezoresistive devices;
resonance;
sensitivity;
vibration measurement;
Coriolis-acceleration detection;
Coriolis-effect detection;
angular rate measurement;
70.
HIGH-SPEED CHARACTERIZATION AND MECHANICAL MODELING OF MICROSCALE, AXIAL-FLUX, PERMANENT-MAGNET GENERATORS
机译:
微尺寸,轴向通量,永磁发电机的高速表征和机械建模
作者:
David P. Arnold
;
Yeun-Ho Joung
;
Iulica Zana
;
Jin-Woo Park
;
Sauparna Das
;
Jeffrey H. Lang
;
David Veazie
;
Mark G. Allen
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Microscale generator;
Power MEMS;
Permanent-magnet machine;
Finite-element analysis;
Failure testing;
71.
METAL CONTACT CAPACITIVE SWITCH ON LOW-RESISTIVITY SILICON WAFER
机译:
低电阻率硅晶片上的金属接触电容开关
作者:
Q. X. Zhang
;
A. B. Yu
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
DC contact switch;
Capacitive shunt switch;
CPW Transmission line;
RF MEMS;
72.
Micromachined endovascularly-implantable wireless aneurysm pressure sensors: from concept to clinic
机译:
微加工血管内植入无线动脉瘤压力传感器:从概念到诊所
作者:
Allen M.G.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
biosensors;
microsensors;
pressure sensors;
prosthetics;
MEMS;
endovascularly repaired abdominal aortic aneurysms;
external measurement antenna;
human body;
implantable wireless sensors;
microelectromechanical systems;
micromachining;
passive wireless pressure sens;
73.
Diaphragm-type miniature optical fiber pressure sensor with a sleeve
机译:
隔膜式微型光纤压力传感器,带套筒
作者:
Watanabe T.
;
Kaneko Y.
;
Shimada M.
;
Takahashi K.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
Fabry-Perot interferometers;
fibre optic sensors;
micromachining;
microsensors;
pressure sensors;
Fabry-Perot interferometer;
diaphragm-type optical fiber pressure sensor;
fabrication process;
fiber insertion sleeve;
74.
3D self-assembling of SU-8 microstructures on silicon by plasma induced compressive stress
机译:
血浆诱导压缩应力的三维自组装硅8微观结构
作者:
Bureau J.-B.
;
Legrand B.
;
Collard D.
;
Buchaillot L.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2005年
关键词:
X-ray spectroscopy;
micromechanical devices;
photoresists;
self-assembly;
silicon;
3D self-assembling;
SF/sub 6/;
SF/sub 6/ based plasma process;
SU-8 microstructures;
SU-8 photoresist;
X-ray photoelectron spectroscopy;
biological sciences;
clamped-clamped beam stru;
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