机译:通过干法刻蚀和再生工艺制造的GaInAsP / InP部分应变补偿多量子线激光器
机译:通过干法刻蚀和再生长制造的GaInAsP / InP应变补偿多量子线激光器
机译:通过干法刻蚀和再生长制造的GaInAsP / InP应变补偿多量子线激光器
机译:GAINASP / INP多反射器微腔结构由EB光刻制造和选择性蚀刻
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:使用纳米球刻蚀,软刻蚀和等离子刻蚀制造的等离子纳米结构
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机译:通过掩模离子束光刻和干蚀刻制造的亚微米结构