nanosphere-lithography, near-field enhancement, plasma etching, soft-lithography, surface plasmons;
机译:使用纳米球刻蚀,软刻蚀和等离子刻蚀制造的等离子纳米结构
机译:直接合成单壁碳纳米管的选择性合成,该碳纳米管选择性地悬浮在通过氢等离子体刻蚀制成的垂直排列的硅纳米结构的尖端
机译:催化剂形状和蚀刻剂组成对硅金属辅助化学刻蚀制造3D纳米结构中刻蚀方向的影响
机译:PZT薄膜的电感耦合等离子体(ICP)蚀刻,用于使用光致抗蚀剂/铝双层掩膜制造光波导
机译:用于制造新型器件的宽带隙半导体材料的高密度等离子体蚀刻。
机译:金属辅助化学刻蚀制备纳米结构黑硅的增强光吸收率及器件应用
机译:使用纳米球刻蚀,软刻蚀和等离子刻蚀制造的等离子纳米结构