Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB2 1PZ, UK;
solid-state gas sensors; electro-thermal-mechanical simulations; SOI devices; multilayer membrane; device optimization;
机译:基于SOI技术的CMOS-MEMS高温智能气体传感器的多场仿真和表征
机译:使用3D-FEM频域模拟结合微波介电谱法确定强分散底土中的空间TDR传感器特性
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机译:基于SOI膜的气体传感器3D热电区机械模拟
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机译:利用SOI CMOS MEMS技术开发的基于膜的热导率传感器传热机理的3D有限元模型