一种基于SOI材料的还原性气体传感器

摘要

一种基于SOI材料的还原性气体传感器，由IDT、氧化锌敏感薄膜、SOI压电基片组成，其制作步骤为：1)选择合适的SOI基体，并在基体上光刻出2个IDT的位置，然后用射频溅射的方式生成2个IDT。2)用sol-gel法在基体上生成氧化锌敏感薄膜，并测量该敏感薄膜的电导率。3)在SOI基片的另一面大面积注入淡硼，通过调整硼的注入量以使基片的谐振电导率与氧化锌薄膜的电导率接近。4)用直流溅射的方法在氧化锌薄膜上生成极薄的贵金属薄膜作为催化剂。