ASML MaskTools, Inc., 4800 Great America Parkway, Suite 400, Santa Clara, CA95054, USA;
double dipole llithography (DDL); off-axis illumination (OAI); scattering bars (SB); shielding; RET; model based layout conversion; line width roughness (LWR); critical dimension uniformity (CDU); sub-resolution grating block (SGB);
机译:在65纳米和45纳米技术节点的双偶极光刻技术中,潜在的曝光工具引起的临界尺寸和重叠误差的大小
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
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机译:双偶极光刻为65纳米节点及更大:技术准备回顾
机译:分析化学:I.古代人类饮食摄入的多种元素方法;二。涉及双键的分子内偶极-偶极相互作用;三, X射线光电子能谱表征陶瓷中铁的氧化态。
机译:通过双拉伸光刻技术开发用于透皮给药的垂直SU-8微针
机译:工艺窗口OPC验证:65 nm节点的干法与浸没式光刻