基于温差式流量传感器的微泵流量检测系统设计

摘要

为了进行无阀微泵流量的检测，本文设计了基于硅基温差式流量传感器的流量检测系统，搭建了微泵芯片流量检测平台。利用微注射泵对检测系统的输出电压和流量进行了标定，得到了系统的电压，流量实验曲线，通过对曲线进行分析和拟合，得到了电压与流量的关系式，并由此确定了系统的流量检测范围。研究结果表明，本文设计的流量检测系统灵敏度较高，稳定性好，流量检测范围符合常规微泵的输出流量，适合用于微泵的流量检测。