基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定

摘要

设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定.通过MEMS技术加工制作出流量传感器.芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器.热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差.流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定.经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量.