基于鞣酸的化学增幅型i-线光刻胶

摘要

分子玻璃光致抗蚀剂因其具有单分散性、无定形性、可获得高分辨率图形及低线边缘粗糙度等优点,受到了较大的关注,被认为是下一代光刻技术使用的光致抗蚀剂的最佳选择之一.本文设计以一种小分子多羟基酚化合物鞣酸为母体,先后与二碳酸二叔丁酯及2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化反应,合成出鞣酸中苯环上部分酚羟基被叔丁基碳酸酯保护的2,1,4-重氮萘醌磺酸酯.这种小分子化合物既有重氮萘醌磺酸酯感光基团,又有可酸分解保护基,由于2,1,4-重氮萘醌磺酸酯基团同时具有光致产酸作用,因此可以作为一种新颖的化学增幅型单组分分子玻璃i-线光致抗蚀剂.该分子玻璃化合物易溶于常用溶剂,具有良好的成膜性.研究了其热稳定性、酸解特性、成像性质,其组成的i-线光致抗蚀剂的曝光成像试验获得了较高的感度和分辨率.