SnIn钎料与Au/Ni/Cu钎焊界面金属间化合物的研究

摘要

本文将In-49wt％Sn钎料与镀Au/Ni的Cu基焊盘在140℃时进行钎焊,采用扫面电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析研究钎料以及钎焊反应生成的金属间化合物(IMC)的成分及形貌结构.研究发现:In-49wt％Sn合金钎料为两相组织,分别为富In的β相和富Sn的γ相;当钎焊温度为140℃,保温10s后,还有部分未反应完全的镀Au层,反应生成的IMC成分为AuIn2,AuIn2呈多面立方体结构,靠近钎料一侧的AuIn2颗粒较为粗大,分布不均匀,靠近镀Au层方向的AuIn2颗粒较细小,分布较为致密;钎焊完成后,在靠近IMC区域的In-49wt％Sn钎料存在明显的γ,相偏析现象,偏析区域的γ相的厚度约为60μn.