高压功率器件硼基区工艺优化研究

摘要

随着功率双极集成电路在军民两用的各种电源管理、功率驱动等领域中应用日益广泛,集成电路工作电压逐步提高,原有工艺技术和工艺规范已不满足这类产品的要求。文章介绍了工作电压高于50V的功率器件硼基区工艺优化方案,给出了工艺结果及其在产品中的应用。