公开/公告号US9627239B2
专利类型
公开/公告日2017-04-18
原文格式PDF
申请/专利权人 VEECO INSTRUMENTS INC.;
申请/专利号US201514725997
发明设计人 DAEWON KWON;
申请日2015-05-29
分类号G01N21/956;H04N5/225;H01L21/67;G01B11/06;G01B11/00;C23C16/458;C23C16/52;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:16