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目录
第1章 绪 论
1.1课题研究目的和意义
1.2国内外研究现状
1.3课题研究内容
第2章 末端状态检测系统总体设计
2.1引言
2.2晶圆传输机器人运动学建模
2.3检测系统原理及方案设计
2.4末端执行器结构优化设计
2.5粘滑传感器标定和滑移判定实验
2.6本章小结
第3章 基于PSD的末端位置检测
3.1引言
3.2二维PSD位置检测系统原理分析
3.3二维PSD位置检测系统设计
3.4 PSD相机单点测试实验
3.5 PSD相机标定实验
3.6本章小结
第4章 基于KKF的末端速度估计
4.1引言
4.2多传感器融合原理分析
4.3末端运动学方程
4.4运动学卡尔曼滤波算法推导
4.5晶圆传输机器人KKF方程简化
4.6惯性传感器选型
4.7本章小结
第5章 综合实验研究
5.1引言
5.2典型轨迹规划及运动学仿真
5.3晶圆接触状态检测实验
5.4末端位置检测实验
5.5末端速度估计实验
5.6本章小结
结论
参考文献
声明
致谢