MEMS陀螺电容读出电路中失调电容的补偿方法及电路

摘要

本发明公开了一种MEMS陀螺电容读出电路中失调电容的补偿方法及电路，该补偿电路包括依次连接的电荷放大器、高通滤波器、同步解调电路、低通滤波器和一失调电容补偿反馈回路，该反馈回路由低通滤波器、可变增益放大器和反馈电容组成。其中，MEMS陀螺的变化电容信号经过电荷放大器放大后转换成电压信号，并且被载波调制到高频，再经过高通滤波器放大；放大后的信号经过同步解调后，用低通滤波器提取反映失调电容大小的电压信号，该电压信号通过可变增益放大器放大并调制到高频以产生负反馈电压，反馈电容将负反馈电压耦合到电荷放大器输入端，与MEMS陀螺的变化电容信号中的失调电容信号相减，实现了失调电容的自适应补偿。