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为测量系统确定队列匹配问题和根本原因要点

摘要

公开了用于确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法、系统和程序产品。本发明实现了用于分析匹配问题的真实参数,包括单工具精度、工具对工具非线性、以及工具对工具偏差。然后,实现将这些参数组合为单值的底线工具匹配精度尺度。本发明还包括用于确定匹配问题的根本原因(s10)、以及用于确定队列测值精度尺度(s4)的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN101460944B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-12-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN200680006151.1

  • 申请日2006-02-22

  • 分类号G06F17/18(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人邸万奎;黄小临

  • 地址 美国纽约阿芒克

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-15

    专利权的转移 IPC(主分类):G06F 17/18 登记生效日:20171127 变更前: 变更后: 申请日:20060222

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-12-15

    专利权的转移 IPC(主分类):G06F 17/18 登记生效日:20171127 变更前: 变更后: 申请日:20060222

    专利申请权、专利权的转移

  • 2010-12-08

    授权

    授权

  • 2010-12-08

    授权

    授权

  • 2009-08-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-08-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-06-17

    公开

    公开

  • 2009-06-17

    公开

    公开

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