法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/02 授权公告日:20100616 终止日期:20130731 申请日:20080731
专利权的终止
2010-06-16
授权
授权
2009-02-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-12-31
公开
公开
机译: ZNO薄膜前驱物以及使用相同方法通过化学气相沉积法制备ZNO薄膜的方法
机译: 氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译: 在其中掺杂有ZnO薄膜的透明电极中使用ZnO薄膜形成薄膜和发光装置的方法