用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法

摘要

本发明公开了一种用于扫描投影光刻机的利用三个基本光栅周期的相位光栅探测的对准方法，以及使用该方法的微器件制造方法。本发明的用于投影扫描光刻机的对准方法在基底标记或基底台基准标记使用三周期相位光栅，只利用这三个周期的一级衍射光作为对准信号，可以实现大的捕获范围的同时获得高的对准精度和较强的信号强度，提高系统信噪比，简化光路设计和调试难度，简化硬件实现和缩小信号处理时间开销，提高对准效率。