微机电变截面固支梁系统级宏模型的建立方法

摘要

微机电变截面固支梁系统级宏模型的建立方法涉及微机电系统(MEMS)器件系统级建模方法，在变截面固支梁一维信号流模型中引入弹性回复力修正项，将因宽梁部分的宽度方向弯曲所产生的两维效应转换为一维模型修正，使得模型精度远高于一维信号流图模型；借助此模型和方法可以方便地对不同尺寸双端固支变截面梁进行系统级模拟，分析变截面梁的静态行为和动态行为。