多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法

摘要

本发明的多层膜反射镜(2)包括基板(4)及多层膜(6)，多层膜(6)具有第1材料层(6a)及第2材料层(6b)交替地成膜在上述基板表面上的构造。上述多层膜表面附近的上述第1材料层在面内具有厚度的分布，其中，上述多层膜反射镜(2)含有：中间层(7)，其是成膜在上述多层膜表面上的Si层或含有Si之层，上述中间层表面所处的位置与上述多层膜的上述第2材料层表面所处的位置大致相同；及覆盖层(8)，其均匀地成膜在上述中间层的表面。