测量光学透明体的光学和物理厚度的方法

摘要

一种决定其折射率为未知的光学透明体的绝对物理厚度的方法，该方法包括如下步骤：使第一宽带光信号在与被测参量相关联的方向上透过一光学透明体；从所述光学透明体捕获第一对反射光信号，其中所述第一对反射光信号的第一光信号是从所述光学透明体的近的表面反射而得，而所述第一对反射光信号的第二光信号是从所述光学透明体的远的表面反射而得；使第二宽带光信号在与所述第一宽带光信号相反的方向上透过光学透明体；其中第一窗口(C)处的第一宽带光信号源和第二窗口(D)处的第二宽带光信号源之间的距离c通过在所述第一窗口(C)和所述第二窗口(D)之间插入已知厚度的光纤来校准；从所述光学透明体捕获第二对反射光信号，其中所述第二对反射光信号的第一光信号是从所述光学透明体的近的表面反射而得，而所述第二对反射光信号的第二光信号是从所述光学透明体的远的表面反射而得；以及通过利用光谱干涉计技术测量空腔谐振器的谐振波长来决定所述第一窗口和所述光学透明体之间的距离a和所述第二窗口和所述光学透明体之间的距离b，从而决定所述光学透明体的绝对物理厚度(d₁)为d₁＝c-a-b。