公开/公告号CN100520583C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN200410035272.1
发明设计人 S·G·汉森;
申请日2004-02-11
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维尔德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:02:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20090729 终止日期:20140211 申请日:20040211
专利权的终止
2009-07-29
授权
授权
2006-04-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-09-22
公开
公开
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