一种高精度施密特校正板的面形检测系统及方法

摘要

本发明涉及一种高精度施密特校正板的面形检测系统，包括干涉仪、补偿器、待测施密特校正板和标准球面反射镜；干涉仪和反射面朝向干涉仪的标准球面反射镜位于检测光路的两端；在检测光路中，标准球面反射镜的曲率中心与干涉仪的焦点重合；待测施密特校正板位于检测光路中靠近标准球面反射镜的一侧；补偿器位于检测光路中干涉仪的焦点与待测施密特校正板之间，用于补偿待测施密特校正板的球差；所述干涉仪、补偿器、待测施密特校正板和标准球面反射镜在整个检测光路中同轴。本发明避免了高次非球面检测的难题，能够有效指导施密特校正板的加工过程，有助于改进加工工艺。