标记、重叠目标及对齐和重叠方法

摘要

一种谐振幅度光栅标记，其具有周期性结构，该周期性结构被配置为散射入射(500)在对齐标记的表面平面(506)上的波长为λ的辐射(502)。散射主要通过在周期性结构中激发平行于表面平面的谐振模式(508)来实现。周期性结构的多个部分的有效折射率(ns,nd)和长度(L1,L2)被配置为提供单位单元在周期性方向上的光程长度(nsL1+ndL2)，该光程长度等于辐射光谱中存在的波长的整数倍(mλ)。这些部分的有效折射率(ns,nd)和长度(L1,L2)还被配置为提供第二部分在周期性方向上的光程长度(ndL2)，该光程长度等于辐射光谱中存在的波长的一半(λ/2)。