公开/公告号CN111057999B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海米蜂激光科技有限公司;
申请/专利号CN201911307643.X
申请日2019-12-18
分类号C23C14/10(20060101);C23C14/34(20060101);C23C14/58(20060101);
代理机构31127 上海三方专利事务所(普通合伙);
代理人吴玮
地址 201306 上海市浦东新区泥城镇飞渡路55号3幢厂房A、B单元
入库时间 2022-08-23 12:56:31
机译: 基于醇的纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法
机译: 制备纳米多孔二氧化硅薄膜的改进方法
机译: 制备纳米多孔二氧化硅薄膜的改进方法