一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法

摘要

本发明涉及一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法，属于表面处理技术领域。其首先在硅溶胶中加入分散剂，随后将表面活性剂溶于去离子水，将两者混合继续添加消泡剂和pH调节剂，最后得到A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液。本发明分别添加不同种类的表面活性剂对A向蓝宝石晶片进行化学机械抛光，并得出结论：在碱性条件下，使用阳离子型表面活性剂和两性表面活性剂时，抛光效率最高，并且具有较低的表面粗糙度；其次是非离子型表面活性剂；而阴离子型表面活性剂在碱性环境中抑制A向蓝宝石晶片的去除速率，从而提高抛光效率，节约成本。