胶体二氧化硅基蓝宝石化学机械抛光液抛光机制研究

摘要

研究以硅溶胶为磨料的蓝宝石化学机械抛光液在抛光过程中作用机制.表征抛光液在单次抛光过程中以及循环抛光前后的各指标变化,包括pH值、密度、粘度、固含量、zeta电位、粒径分布、金属元素浓度、大颗粒数目以及颗粒形貌等,对比分析抛光液中二氧化硅颗粒发生的变异;并将抛光前后的抛光液离心,分析上清液的金属元素含量与沉淀物红外光谱图,发现在抛光过程中蓝宝石与二氧化硅颗粒表面发生固,固相反应,生成硬度较小的硅铝酸盐,促进蓝宝石表面的材料去除;同时分析重复使用抛光液对去除速率和表面质量的影响,进一步确认蓝宝石化学机械抛光液的作用机制.