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适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统

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摘要

本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧姆接触系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au，欧姆接触系统在680℃-760℃的合金温度范围内，20-60S的合金时间范围获得理想的一致的欧姆接触。合金温度、合金时间有较大的的选择范围，降低了工艺难度，提高了工艺的重复性。获得到比较理想的合金形貌，降低了器件研制对设备的要求。这些技术方面的优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。

著录项

  • 公开/公告号CN100485886C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-05-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN200410058033.8

  • 发明设计人 魏珂;和致经;刘新宇;刘健;吴德馨;

    申请日2004-08-09

  • 分类号H01L21/3205(20060101);B32B15/01(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人周国城

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-12

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/3205 登记生效日:20200525 变更前: 变更后: 申请日:20040809

    专利申请权、专利权的转移

  • 2020-05-19

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/3205 登记生效日:20200430 变更前: 变更后: 申请日:20040809

    专利申请权、专利权的转移

  • 2020-05-19

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/3205 登记生效日:20200430 变更前: 变更后: 申请日:20040809

    专利申请权、专利权的转移

  • 2009-05-06

    授权

    授权

  • 2009-05-06

    授权

    授权

  • 2009-05-06

    授权

    授权

  • 2006-04-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-04-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-04-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-02-15

    公开

    公开

  • 2006-02-15

    公开

    公开

  • 2006-02-15

    公开

    公开

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