晶圆测试方法、晶圆测试装置以及晶圆测试系统

摘要

本申请公开了一种晶圆测试方法，包括：将待测晶圆上的管芯分成管芯组；向其中的多个管芯组提供激励信号；获得所述多个管芯组的测试结果数据；以及根据所述多个管芯组的测试结果数据获得每个管芯的测试结果数据，其中，所述多个管芯组执行多路测试返回所述测试结果数据。通过分组能够使得基于现有的测试机在一定时间内多路测试更多的管芯，节省了测试时间和测试成本。本申请同时提供一种晶圆测试装置和晶圆测试系统。